Barrel susceptor för flytande fas epitaxi LPE
EPI (Epitaxy)är en kritisk process vid tillverkning av avancerade halvledare. Det involverar avsättning av tunna lager av material på ett substrat för att skapa komplexa enhetsstrukturer. SiC-belagd grafitcylindersusceptor för EPI används ofta som susceptor i EPI-reaktorer på grund av deras utmärkta värmeledningsförmåga och motståndskraft mot höga temperaturer. MedCVD-SiC beläggning, blir det mer motståndskraftigt mot kontaminering, erosion och termisk chock. Detta resulterar i en längre livslängd för susceptorn och förbättrad filmkvalitet.
Fördelar med vår fatsusceptor för vätskefasepitaxi LPE:
Minskad kontaminering:SiC:s inerta natur förhindrar föroreningar från att fästa på susceptorytan, vilket minskar risken för kontaminering av de avsatta filmerna.
Ökad erosionsbeständighet:SiC är betydligt mer motståndskraftig mot erosion än konventionell grafit, vilket leder till en längre livslängd för susceptorn.
Förbättrad termisk stabilitet:SiC har utmärkt värmeledningsförmåga och tål höga temperaturer utan nämnvärd distorsion.
Förbättrad filmkvalitet:Den förbättrade termiska stabiliteten och minskade kontamineringen resulterar i avsatta filmer av högre kvalitet med förbättrad enhetlighet och tjocklekskontroll.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd är ett högteknologiskt företag som fokuserar på produktion och försäljning av avancerade material, material och teknik inklusive grafit, kiselkarbid, keramik, ytbehandling som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartat kol beläggning, pyrolytisk kolbeläggning, etc., dessa produkter används i stor utsträckning inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniska team kommer från de bästa inhemska forskningsinstitutioner och har utvecklat flera patenterade tekniker för att säkerställa produktprestanda och kvalitet, kan också förse kunder med professionella materiallösningar.
Vi välkomnar dig varmt att besöka vårt laboratorium och anläggning för teknisk diskussion och samarbeten!
