Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor
Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorär en specialdesignad stöd- och uppvärmningsanordning som används för att hålla och värma halvledarsubstrat under tillverkningsprocesser som deposition eller epitaxiprocesser.
Dess struktur inkluderar typiskt cylindriska eller lätt fatformade, yta har flera fickor eller plattformar för att placera wafers, kan vara solid eller ihålig design, beroende på uppvärmningsmetoden.
Huvudfunktionerna hos epitaxial cylindersusceptor:
-Substratstöd: håller säkert flera halvledarskivor;
-Värmekälla: ger höga temperaturer som krävs för tillväxt genom uppvärmning;
- Temperaturjämnhet: säkerställer enhetlig uppvärmning av substrat;
-Rotation: roterar vanligtvis under tillväxt för att förbättra temperatur och gasfördelningslikformighet.
Arbetsprincip för Epi-grafitfatsusceptor:
- I den epitaxiella reaktorn värms trumsusceptorn till önskad temperatur (vanligtvis 1000℃-1200℃ för kiselepitaxi);
-Tunnans susceptor roterar för att säkerställa enhetlig temperaturfördelning och gasflöde;
-Reaktionsgaser sönderdelas vid höga temperaturer och bildar epitaxiella skikt på substratytan.
Applikationer:
-Används främst för kiselepitaxial tillväxt
-Gäller även för epitaxi av andra halvledarmaterial som GaAs, InP, etc.
VET Energy använder högren grafit med CVD-SiC-beläggning för att förbättra den kemiska stabiliteten:
Fördelarna med VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:
-Hög temperaturstabilitet;
-God termisk enhetlighet;
-Kan bearbeta flera substrat samtidigt, vilket förbättrar produktionseffektiviteten;
-Kemiskt inert, upprätthåller en växtmiljö med hög renhet.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd är ett högteknologiskt företag med fokus på produktion och försäljning av avancerade avancerade material, material och teknik inklusive grafit, kiselkarbid, keramik, ytbehandling som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartat kol beläggning, pyrolytisk kolbeläggning, etc., dessa produkter används i stor utsträckning inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniska team kommer från de bästa inhemska forskningsinstitutioner och har utvecklat flera patenterade tekniker för att säkerställa produktprestanda och kvalitet, kan också förse kunder med professionella materiallösningar.
Vi välkomnar dig varmt att besöka vårt laboratorium och anläggning för teknisk diskussion och samarbeten!
