Sudový susceptor pre epitaxiu v kvapalnej fáze LPE
EPI (Epitaxia)je kritickým procesom pri výrobe pokročilých polovodičov. Zahŕňa nanášanie tenkých vrstiev materiálu na substrát, aby sa vytvorili zložité štruktúry zariadenia. SiC potiahnuté grafitové valcové susceptory pre EPI sa bežne používajú ako susceptory v EPI reaktoroch kvôli ich vynikajúcej tepelnej vodivosti a odolnosti voči vysokým teplotám. sCVD-SiC povlak, stáva sa odolnejším voči kontaminácii, erózii a tepelným šokom. Výsledkom je dlhšia životnosť susceptora a lepšia kvalita filmu.
Výhody nášho valcového susceptora pre epitaxiu v kvapalnej fáze LPE:
Znížená kontaminácia:Inertný charakter SiC zabraňuje nečistotám priľnúť na povrch susceptora, čím sa znižuje riziko kontaminácie nanesených filmov.
Zvýšená odolnosť proti erózii:SiC je podstatne odolnejší voči erózii ako bežný grafit, čo vedie k dlhšej životnosti susceptora.
Vylepšená tepelná stabilita:SiC má vynikajúcu tepelnú vodivosť a odoláva vysokým teplotám bez výrazného skreslenia.
Vylepšená kvalita filmu:Výsledkom zlepšenej tepelnej stability a zníženej kontaminácie sú kvalitnejšie nanesené filmy so zlepšenou rovnomernosťou a kontrolou hrúbky.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd je high-tech podnik so zameraním na výrobu a predaj špičkových pokročilých materiálov, materiálov a technológií vrátane grafitu, karbidu kremíka, keramiky, povrchovej úpravy, ako je povlak SiC, povlak TaC, sklenený uhlík. povlak, pyrolytický uhlíkový povlak atď., Tieto produkty sú široko používané vo fotovoltaických, polovodičových, nových energetických, metalurgických atď.
Náš technický tím pochádza z popredných domácich výskumných inštitúcií a vyvinul viacero patentovaných technológií na zabezpečenie výkonu a kvality produktov a môže zákazníkom poskytnúť aj profesionálne materiálové riešenia.
Srdečne vás vítame na návšteve nášho laboratória a závodu na technickú diskusiu a spoluprácu!