VET බලශක්තිසිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන ග්රැෆයිට් තැටිය, ප්ලේට්, සහ කවරය ඉහළ මට්ටමේ කාර්ය සාධනයක් ලබා දීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති අතර, දිගුකාලීන භාවිතයට වඩා විශ්වාසදායක සහ ස්ථාවර ක්රියාකාරිත්වයක් සපයයි, එය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ වේෆර් සැකසුම් යෙදුම් සඳහා අත්යවශ්ය තේරීමක් කරයි. මෙම ඉහළ කාර්ය සාධනයසිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන ග්රැෆයිට් තහඩුවසුවිශේෂී තාප ප්රතිරෝධය, උසස් තාප ඒකාකාරිත්වය සහ කැපී පෙනෙන රසායනික ස්ථායීතාවය, විශේෂයෙන් ඉහළ-උෂ්ණත්ව තත්වයන් තුළ පුරසාරම් දොඩයි. එහි ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ඉදිකිරීම්, උසස් ඛාදනය ප්රතිරෝධය සමඟ බැඳී ඇති අතර, වැනි ඉල්ලුමක් ඇති පරිසරයන් සඳහා එය අත්යවශ්ය වේ.MOCVD susceptors.
සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන ග්රැෆයිට් තැටි, තහඩුව සහ කවරයේ ප්රධාන ලක්ෂණ
1. අධි-උෂ්ණත්ව ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය:1700℃ දක්වා උෂ්ණත්වයට ඔරොත්තු දෙන අතර, එය ආන්තික තත්වයන් තුළ විශ්වාසදායක ලෙස ක්රියා කිරීමට හැකි වේ.
2. ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ තාප ඒකාකාරිත්වය:MOCVD යෙදුම් සඳහා ස්ථාවර ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ තාපය බෙදා හැරීම ඉතා වැදගත් වේ.
3. සුවිශේෂී විඛාදන ප්රතිරෝධය:අම්ල, ක්ෂාර, ලවණ සහ විවිධ කාබනික ප්රතික්රියාකාරක වලට ප්රතිරෝධී වන අතර විවිධ පරිසරවල දිගු කාලීන ස්ථායිතාව සහතික කරයි.
4. ඉහළ දෘඪතාව සහ සංයුක්ත මතුපිට:සියුම් අංශු සහිත ඝන පෘෂ්ඨයක්, සමස්ත කල්පැවැත්ම සහ ඇඳීමට ප්රතිරෝධය වැඩි දියුණු කරයි.
5. දිගු සේවා කාලය:සාම්ප්රදායික කාර්ය සාධනය අභිබවා දිගු ආයු කාලයක් සඳහා නිර්මාණය කර ඇතසිලිකන් කාබයිඩ්-ආලේපිත ග්රැෆයිට් susceptorsදැඩි අර්ධ සන්නායක සැකසුම් පරිසරයන් තුළ.
CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC හි මූලික භෞතික ගුණාංගආලේපනය | |
性质 / දේපල | 典型数值 / සාමාන්ය අගය |
晶体结构 / ස්ඵටික ව්යුහය | FCC β අදියර多晶,主要为(111)取向 |
密度 / ඝනත්වය | 3.21 g/cm³ |
硬度 / දෘඪතාව | 2500 维氏硬度 (ග්රෑම් 500 බර) |
晶粒大小 / ධාන්ය ප්රමාණය | 2~10μm |
纯度 / රසායනික සංශුද්ධතාවය | 99.99995% |
热容 / තාප ධාරිතාව | 640 J·kg-1·කේ-1 |
升华温度 / Sublimation උෂ්ණත්වය | 2700℃ |
抗弯强度 / Flexural ශක්තිය | 415 MPa RT 4-ලක්ෂ්යය |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt වංගුව, 1300℃ |
导热系数 / තාපඑල්සන්නායකතාව | 300W·m-1·කේ-1 |
热膨胀系数 / තාප ප්රසාරණය (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
අභිරුචිකරණය කළ මිනිරන් සහ සිලිකන් කාබයිඩ් විසඳුම් පිළිබඳ VET බලශක්ති විශේෂඥතාව
විශ්වාසදායක නිෂ්පාදකයෙකු ලෙස, VET Energy අභිරුචි-නිර්මාණය කරන ලද මිනිරන් susceptors සහ සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන විසඳුම් සඳහා විශේෂීකරණය කරයි. අපි ඇතුළුව අර්ධ සන්නායක සහ ප්රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්ත සඳහා සකස් කරන ලද නිෂ්පාදන මාලාවක් අපි පිරිනමන්නෙමුSiC-ආලේපිත ග්රැෆයිට් සංරචකතැටි, තහඩු සහ ආවරණ වැනි. අපගේ නිෂ්පාදන පෙළට විවිධ ආලේපන විකල්ප ඇතුළත් වේMOCVD සඳහා SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, සහ පයිෙරොලිටික් කාබන් ආලේපනය, අධි තාක්ෂණික කර්මාන්තවල විවිධ ඉල්ලීම් සපුරාලීම සහතික කිරීම.
ඉහළ දේශීය පර්යේෂණ ආයතනවල විශේෂඥයන්ගෙන් සමන්විත අපගේ පළපුරුදු තාක්ෂණික කණ්ඩායම, ගනුදෙනුකරුවන් සඳහා පුළුල් ද්රව්යමය විසඳුම් සපයයි. සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය සහ මිනිරන් උපස්ථරය අතර බන්ධනය වැඩි දියුණු කරන, වෙන්වීමේ අවදානම අඩු කරන සහ නිෂ්පාදනයේ ආයු කාලය තවදුරටත් දීර්ඝ කරන සුවිශේෂී පේටන්ට් තාක්ෂණයක් ඇතුළුව අපි අපගේ උසස් ක්රියාවලි අඛණ්ඩව පිරිපහදු කරන්නෙමු.
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ යෙදුම් සහ ප්රතිලාභ
දMOCVD සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයමෙම ග්රැෆයිට් ග්රැෆයිට් susceptors ඉහළ උෂ්ණත්ව, විඛාදන පරිසරවල ඉතා ඵලදායී කරයි. ග්රැෆයිට් වේෆර් වාහක හෝ වෙනත් MOCVD සංරචක ලෙස භාවිතා කළත්, මෙම සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත susceptors උසස් කල්පැවැත්ම සහ කාර්ය සාධනය පෙන්නුම් කරයි. විශ්වාසනීය විසඳුම් සොයන අය සඳහාSiC-ආලේපිත ග්රැෆයිට් ග්රාහකයවෙළෙඳපොළ, VET Energy හි සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත මිනිරන් තැටි, තහඩුව සහ කවරය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ දැඩි ඉල්ලීම් සපුරාලන ශක්තිමත් සහ බහුකාර්ය විකල්පයක් ඉදිරිපත් කරයි.
උසස් ද්රව්ය විද්යාව කෙරෙහි අවධානය යොමු කිරීමෙන්, අර්ධ සන්නායක සැකසීමේ නවෝත්පාදනයන් ගෙන යන සහ MOCVD ආශ්රිත සියලුම යෙදුම්වල විශ්වාසනීය කාර්ය සාධනය සහතික කරන ඉහළ කාර්ය සාධනයක් සහිත SiC-ආලේපිත මිනිරන් විසඳුම් ලබා දීමට VET Energy කැපවී සිටී.
VET Energy යනු SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිෙරොලිටික් කාබන් ආලේපනය වැනි විවිධ ආලේපන සහිත අභිරුචිකරණය කරන ලද මිනිරන් සහ සිලිකන් කාබයිඩ් නිෂ්පාදනවල සැබෑ නිෂ්පාදකයා වන අතර, අර්ධ සන්නායක සහ ප්රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය සඳහා විවිධ අභිරුචි කළ කොටස් සැපයිය හැකිය.
අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළ දේශීය පර්යේෂණ ආයතන වලින් පැමිණේ, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්රව්යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.
අපි වඩාත් දියුණු ද්රව්ය සැපයීම සඳහා උසස් ක්රියාවලි අඛණ්ඩව සංවර්ධනය කරන අතර, ආලේපනය සහ උපස්ථරය අතර බන්ධනය වඩාත් තද කළ හැකි සහ වෙන්වීමට ඇති ඉඩකඩ අඩු කළ හැකි සුවිශේෂී පේටන්ට් බලපත්ර තාක්ෂණයක් සකස් කර ඇත.
අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව නැරඹීමට ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු, අපි තවදුරටත් සාකච්ඡා කරමු!