VET Energy SiC ආලේපිත අනුක්රමිකඅර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ දැඩි ඉල්ලීම් සපුරාලීම සඳහා දීර්ඝ ආයු කාලයක් පුරා විශ්වසනීය, ස්ථාවර කාර්ය සාධනයක් ලබා දීම සඳහා ඉතා සූක්ෂම ලෙස සකස් කරන ලද ඉහළ කාර්ය සාධන විසඳුමකි. සුවිශේෂී තාප ප්රතිරෝධය, සුපිරි තාප ඒකාකාරිත්වය සහ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් සමන්විත වන මෙම නිෂ්පාදනය MOCVD වේෆර් වාහක සහ ස්ථායීතාවය සහ නිරවද්යතාවය අවශ්ය අනෙකුත් වේෆර් සැකසුම් යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. එහි ශක්තිමත් ඛාදනය ප්රතිරෝධය එය කල්පැවැත්ම සහ රසායනික ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව අත්යවශ්ය වන පරිසරයන් සඳහා වාරික තේරීමක් කරයි.
අපේSiC ආලේපිත ග්රැෆයිට් සසෙප්ටරයඅර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ තීරනාත්මක අංගයක් ලෙස පෙනී සිටින අතර, අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය, උසස් ආලේපන ඒකාකාරිත්වය සහ කැපී පෙනෙන තාප ස්ථායීතාවය ලබා ගැනීම සඳහා VET Energy හි සුවිශේෂී පේටන්ට් තාක්ෂණය උපයෝගී කර ගනී. ආලේපනය ඉහළ රසායනික ප්රතිරෝධයක් සහ සැලකිය යුතු ලෙස දීර්ඝ සේවා කාලය සමඟ ග්රැෆයිට් උපස්ථරය වැඩි දියුණු කරයි. VET Energy හි ගුණාත්මකභාවය සඳහා කැපවීම හේතුවෙන් SiC-ආලේපිත ග්රැෆයිට් වාහක වෙළඳපොලේ විකාශනය වන අවශ්යතා සපුරාලන SiC-ආලේපිත ග්රැෆයිට් ග්රැෆයිට් susceptor සඳහා ඉහළ ප්රමිතියක් නිර්මාණය කර ඇත.MOCVD ක්රියාවලි.
SiC Coated Susceptors හි ප්රධාන ලක්ෂණ:
1. අධි-උෂ්ණත්ව ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය:1700℃ දක්වා උෂ්ණත්වයට ඔරොත්තු දෙන අතර, එය ආන්තික සැකසුම් තත්වයන් සඳහා සුදුසු වේ.
2. ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ තාප ඒකාකාරිත්වය:සඳහා වැදගත්, ස්ථාවර ප්රතිඵල සහතික කරයිMOCVD susceptorsසහ වෙනත් නිරවද්ය යෙදුම්.
3. විශිෂ්ට විඛාදන ප්රතිරෝධය:අම්ල, ක්ෂාර, ලුණු සහ විවිධ කාබනික ප්රතික්රියාකාරක වලට ඔරොත්තු දෙනවා.
4. වැඩිදියුණු කළ මතුපිට දෘඪතාව:ඉහළ කල්පැවැත්මක් සහ කල්පැවැත්මක් සපයන සියුම් අංශු සහිත සංයුක්ත මතුපිට.
5. දිගු සේවා කාලය:තිරසාර කාර්ය සාධනය සඳහා නිර්මාණය කර ඇත, දැඩි සැකසුම් පරිසරයන් තුළ සම්මත සිලිකන් කාබයිඩ්-ආලේපිත susceptors අභිබවා යමින්.
ප්රමුඛතම නිෂ්පාදකයෙකු ලෙස, VET Energy අභිරුචිකරණය කරන ලද මිනිරන් සහ විශේෂිත වේසිලිකන් කාබයිඩ් නිෂ්පාදනඇතුළුව විවිධ ආලේපන විකල්ප සමඟSiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, සහ පයිෙරොලිටික් කාබන් ආලේපනය. නිශ්චිත මෙහෙයුම් අවශ්යතා සපුරාලන සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත ග්රැෆයිට් ප්රතිග්රාහක බෙදාහරින අර්ධ සන්නායක සහ ප්රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්ත සඳහා අපි ආඩම්බරයෙන් සේවය කරන්නෙමු.
ඉහළම දේශීය පර්යේෂණ ආයතනවල අත්දැකීම් ඇති අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම, පරිණාමය වන අවශ්යතා සඳහා ද්රව්යමය විසඳුම් ඉදිරියට ගෙන යාමට කැපවී සිටී.SiC-ආලේපිත ග්රැෆයිට් ග්රාහකයවෙළෙඳපොළ. අපගේ පේටන්ට් බලපත්රලාභී ක්රියාවලිය හරහා, VET Energy විසින් සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය සහ උපස්ථරය අතර බන්ධන ශක්තිය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි දියුණු කරන අද්විතීය තාක්ෂණයක් සංවර්ධනය කර ඇත, වෙන්වීමේ අවදානම අඩු කරයි සහ දිගුකාලීන විශ්වසනීයත්වය වැඩි කරයි.
අර්ධ සන්නායක සැකසීමේ යෙදුම් සහ වාසි
දMOCVD සඳහා SiC ආලේපනයසක්රීය කරයිග්රැෆයිට් susceptorනිරවද්ය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා අත්යවශ්ය වන ඉහළ උෂ්ණත්ව සහ විඛාදන පරිසරයන් යටතේ අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා සංරචක. මෙම SiC-ආලේපිත ග්රැෆයිට් සංරචක සිලිකන් කාබයිඩ්-ආලේපිත susceptors අවශ්ය වන ක්රියාවලීන්හිදී විශේෂයෙන් අගය කරනු ලැබේ.ග්රැෆයිට් වේෆර් වාහක, ඉහළ තාප ස්ථායීතාවය, සංශුද්ධතාවය සහ රසායනික ඛාදනය සඳහා ප්රතිරෝධය ඉල්ලා සිටියි.
අපගේ උසස් සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන ශිල්පීය ක්රම සමඟින්, VET Energy අභිරුචිකරණය කළ, ඉහළ කාර්ය සාධනයක් ලබා දීමෙන් ග්රැෆයිට් වේෆර් වාහක වෙළඳපොළට අඛණ්ඩව සහාය වේ.SiC-ආලේපිත ග්රැෆයිට් susceptorsMOCVD ක්රියාවලිවල සිට අර්ධ සන්නායක ක්ෂේත්රයේ ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ යෙදීම් දක්වා කර්මාන්ත-විශේෂිත අභියෝග ආමන්ත්රණය කරයි.