SiC Coating Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

කෙටි විස්තරය:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth යනු දිගු කාලයක් පුරා ස්ථාවර සහ විශ්වාසනීය කාර්ය සාධනයක් සැපයීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ කාර්ය සාධන නිෂ්පාදනයකි. එය සුපිරි හොඳ තාප ප්‍රතිරෝධයක් සහ තාප ඒකාකාරිත්වය, ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඛාදනය ප්‍රතිරෝධය ඇත, එය වේෆර් සැකසුම් යෙදුම් සඳහා පරිපූර්ණ විසඳුමක් බවට පත් කරයි.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න PDF ලෙස බාගන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

SiC ආෙල්පන ග්රැෆයිට් MOCVD වේෆර් වාහක/සසප්ටරය

අපගේ සියලුම susceptors සෑදී ඇත්තේ අධි ශක්ති සමස්ථානික මිනිරන් වලින්. අපගේ ග්‍රැෆයිට්වල ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් ප්‍රයෝජන ගන්න - විශේෂයෙන් එපිටැක්සි, ස්ඵටික වර්ධනය, අයන තැන්පත් කිරීම සහ ප්ලාස්මා එතීම වැනි අභියෝගාත්මක ක්‍රියාවලීන් සඳහා මෙන්ම LED චිප් නිෂ්පාදනය සඳහා සංවර්ධනය කර ඇත.

අපගේ නිෂ්පාදනවල විශේෂාංග:

1. 1700℃ දක්වා ඉහළ උෂ්ණත්ව ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය.
2. ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ තාප ඒකාකාරිත්වය
3. විශිෂ්ට විඛාදන ප්රතිරෝධය: අම්ලය, ක්ෂාර, ලුණු සහ කාබනික ප්රතික්රියාකාරක.
4. ඉහළ දෘඪතාව, සංයුක්ත මතුපිට, සියුම් අංශු.
5. දිගු සේවා කාලය සහ වඩා කල් පවතින

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC හි මූලික භෞතික ගුණාංගආලේපනය
性质 / දේපල	典型数值 / සාමාන්ය අගය
晶体结构 / ස්ඵටික ව්යුහය	FCC β අදියර多晶,主要为（111）取向
密度 / ඝනත්වය	3.21 g/cm³
硬度 / දෘඪතාව	2500 维氏硬度 (ග්රෑම් 500 බර)
晶粒大小 / ධාන්ය ප්රමාණය	2~10μm
纯度 / රසායනික සංශුද්ධතාවය	99.99995%
热容 / තාප ධාරිතාව	640 J·kg^-1·කේ^-1
升华温度 / Sublimation උෂ්ණත්වය	2700℃
抗弯强度 / Flexural ශක්තිය	415 MPa RT 4-ලක්ෂ්‍යය
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt වංගුව, 1300℃
导热系数 / තාපඑල්සන්නායකතාව	300W·m^-1·කේ^-1
热膨胀系数 / තාප ප්‍රසාරණය (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy යනු SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිෙරොලිටික් කාබන් ආලේපනය වැනි විවිධ ආලේපන සහිත අභිරුචිකරණය කරන ලද මිනිරන් සහ සිලිකන් කාබයිඩ් නිෂ්පාදනවල සැබෑ නිෂ්පාදකයා වන අතර, අර්ධ සන්නායක සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය සඳහා විවිධ අභිරුචි කළ කොටස් සැපයිය හැකිය.

අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළ දේශීය පර්යේෂණ ආයතන වලින් පැමිණේ, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්‍රව්‍යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.

අපි වඩාත් දියුණු ද්‍රව්‍ය සැපයීම සඳහා උසස් ක්‍රියාවලි අඛණ්ඩව සංවර්ධනය කරන අතර, ආලේපනය සහ උපස්ථරය අතර බන්ධනය වඩාත් තද කළ හැකි සහ වෙන්වීමට ඇති ඉඩකඩ අඩු කළ හැකි සුවිශේෂී පේටන්ට් බලපත්‍ර තාක්ෂණයක් සකස් කර ඇත.

අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව නැරඹීමට ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු, අපි තවදුරටත් සාකච්ඡා කරමු!