1. පිරිසිදු කිරීමට පෙර පිළිගැනීම
1) විටPECVD මිනිරන් බෝට්ටුව/ වාහකය 100 සිට 150 වාරයකට වඩා භාවිතා වේ, ක්රියාකරුට නියමිත වේලාවට ආලේපන තත්ත්වය පරීක්ෂා කිරීමට අවශ්ය වේ. අසාමාන්ය ආලේපනයක් තිබේ නම්, එය පිරිසිදු කර තහවුරු කිරීම අවශ්ය වේ. මිනිරන් බෝට්ටුවේ/වාහකයේ සිලිකන් වේෆරයේ සාමාන්‍ය ආලේපන වර්ණය නිල් ය. වේෆරයේ නිල් නොවන, බහු වර්ණ තිබේ නම්, හෝ වේෆර් අතර වර්ණ වෙනස විශාල නම්, එය අසාමාන්ය ආලේපනයක් වන අතර, අසාමාන්යතාවයට හේතුව නියමිත වේලාවට තහවුරු කිරීම අවශ්ය වේ.
2) ක්‍රියාවලියෙන් පසු පුද්ගලයින් ආලේපන තත්ත්වය විශ්ලේෂණය කරයිPECVD මිනිරන් බෝට්ටුව/ වාහකය, ඔවුන් මිනිරන් බෝට්ටුව පිරිසිදු කළ යුතුද සහ කාඩ්පත් ලක්ෂ්‍යය ප්‍රතිස්ථාපනය කළ යුතුද යන්න තීරණය කරනු ඇති අතර, පිරිසිදු කළ යුතු මිනිරන් බෝට්ටුව / වාහකය පිරිසිදු කිරීම සඳහා උපකරණ කාර්ය මණ්ඩලය වෙත භාර දෙනු ඇත.
3) පසුමිනිරන් බෝට්ටුව/ වාහකයාට හානි සිදුවී ඇත, නිෂ්පාදන කාර්ය මණ්ඩලය මිනිරන් බෝට්ටුවේ ඇති සියලුම සිලිකන් වේෆර් ඉවත් කර CDA (සම්පීඩිත වාතය) භාවිතා කර එහි ඇති කොටස් වර්ග කරයි.මිනිරන් බෝට්ටුව. සම්පූර්ණ කිරීමෙන් පසු, උපකරණ කාර්ය මණ්ඩලය එය පිරිසිදු කිරීම සඳහා HF ද්‍රාවණයේ නිශ්චිත අනුපාතයකින් සකස් කර ඇති අම්ල ටැංකියට ඔසවනු ඇත.
2. මිනිරන් බෝට්ටුව පිරිසිදු කිරීම
පිරිසිදු කිරීමේ වට තුනක් සඳහා 15-25% හයිඩ්‍රොෆ්ලෝරික් අම්ල ද්‍රාවණයක් භාවිතා කිරීම රෙකමදාරු කරනු ලැබේ, එක් එක් පැය 4-5 සඳහා, සහ පොඟවා පිරිසිදු කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී වරින් වර නයිට්‍රජන් බුබුලු දැමීම, පිරිසිදු කිරීමේ පැය භාගයක් පමණ එකතු කිරීම; සටහන: බුබුලු දැමීම සඳහා වායු ප්‍රභවය ලෙස වාතය සෘජුවම භාවිතා කිරීම නිර්දේශ නොකරයි. අච්චාරු දැමීමෙන් පසු, පැය 10 ක් පමණ පිරිසිදු ජලය සමග මෙයට පිළියමක්, සහ බෝට්ටුව හොඳින් පිරිසිදු කර ඇති බව තහවුරු කරන්න. පිරිසිදු කිරීමෙන් පසු, කරුණාකර බෝට්ටුවේ මතුපිට, මිනිරන් කාඩ් ලක්ෂ්‍යය සහ බෝට්ටු පත්‍ර සන්ධිය සහ අනෙකුත් කොටස් සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් අපද්‍රව්‍ය තිබේදැයි පරීක්ෂා කරන්න. ඉන්පසු අවශ්‍යතා අනුව වියළා ගන්න.
3. පිරිසිදු කිරීමේ පූර්වාරක්ෂාවන්
A) HF අම්ලය අතිශයින් විඛාදන ද්රව්යයක් වන අතර යම් වාෂ්පශීලීතාවයක් ඇති බැවින්, එය ක්රියාකරුවන්ට අනතුරුදායක වේ. එබැවින්, පිරිසිදු කිරීමේ ස්ථානයේ ක්රියාකරුවන් ආරක්ෂිත පූර්වෝපායන් ගත යුතු අතර කැපවූ පුද්ගලයෙකු විසින් කළමනාකරණය කළ යුතුය.
B) බෝට්ටුව විසුරුවා හැරීමට නිර්දේශ කරනු ලබන අතර, පිරිසිදු කිරීමේදී මිනිරන් කොටස පමණක් පිරිසිදු කරන්න, එවිට එක් එක් ස්පර්ශක කොටස වඩාත් හොඳින් පිරිසිදු කළ හැකිය. වර්තමානයේ, බොහෝ ගෘහස්ථ නිෂ්පාදකයින් සමස්ත පිරිසිදු කිරීම භාවිතා කරයි, එය පහසු වේ, නමුත් HF අම්ලය සෙරමික් කොටස් වලට විඛාදනයට ලක් වන බැවින්, සමස්ත පිරිසිදු කිරීම අනුරූප කොටස්වල සේවා කාලය කෙටි කරනු ඇත.
පසු කාලය: දෙසැම්බර්-23-2024