Прочная лопатка для перемещения пластин из карбида кремния

Краткое описание:

vet-china предлагает превосходную прочную лопатку для обработки пластин из карбида кремния, которая сочетает в себе высокую производительность и инновационный дизайн для обеспечения эффективной и безопасной обработки пластин. Благодаря своей долговечности и точности лопатка для работы с кремниево-углеродными пластинами vet-china является незаменимым инструментом в процессе производства полупроводников, повышая эффективность производства и снижая риск образования мусора.


Детали продукта

Теги продукта

vet-china гарантирует, что каждый DurableЛопатка для перемещения пластин из карбида кремнияобладает отличными эксплуатационными характеристиками и долговечностью. В этой лопатке для перемещения пластин из карбида кремния используются передовые производственные процессы, гарантирующие сохранение структурной стабильности и функциональности в условиях высоких температур и химической коррозии. Эта инновационная конструкция обеспечивает превосходную поддержку при работе с полупроводниковыми пластинами, особенно при выполнении высокоточных автоматизированных операций.

Консольное весло SiCпредставляет собой специализированный компонент, используемый в оборудовании для производства полупроводников, таком как печи для окисления, диффузионные печи и печи для отжига. Основное использование - загрузка и выгрузка пластин, поддержка и транспортировка пластин во время высокотемпературных процессов.

Общие структурыизКарбид кремнияcантилеверpдурачить: консольная конструкция, фиксированная на одном конце и свободная на другом, обычно имеет плоскую конструкцию, напоминающую лопасти.

РаботающийpпринципизКарбид кремнияcантилеверpдурачить:

Консольная лопасть может перемещаться вверх и вниз или вперед и назад внутри камеры печи. Ее можно использовать для перемещения пластин из зон загрузки в зоны обработки или из зон обработки, поддерживая и стабилизируя пластины во время высокотемпературной обработки.

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния

Свойство

Типичное значение

Рабочая температура (°С)

1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)

содержание карбида кремния

> 99,96%

Бесплатный Si-контент

< 0,1%

Объемная плотность

2,60-2,70 г/см3

Кажущаяся пористость

< 16%

Сила сжатия

> 600 МПа

Прочность на холодный изгиб

80-90 МПа (20°С)

Прочность на горячий изгиб

90-100 МПа (1400°С)

Тепловое расширение при 1500°C

4,70 10-6/°С

Теплопроводность при 1200°C

23 Вт/м•К

Модуль упругости

240 ГПа

Устойчивость к термическому удару

Очень хорошо

Консольное весло9
Консольное весло8
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!