vet-china гарантирует, что каждый DurableЛопатка для перемещения пластин из карбида кремнияобладает отличными эксплуатационными характеристиками и долговечностью. В этой лопатке для перемещения пластин из карбида кремния используются передовые производственные процессы, гарантирующие сохранение структурной стабильности и функциональности в условиях высоких температур и химической коррозии. Эта инновационная конструкция обеспечивает превосходную поддержку при работе с полупроводниковыми пластинами, особенно при выполнении высокоточных автоматизированных операций.
Консольное весло SiCпредставляет собой специализированный компонент, используемый в оборудовании для производства полупроводников, таком как печи для окисления, диффузионные печи и печи для отжига. Основное использование - загрузка и выгрузка пластин, поддержка и транспортировка пластин во время высокотемпературных процессов.
Общие структурыизКарбид кремнияcантилеверpдурачить: консольная конструкция, фиксированная на одном конце и свободная на другом, обычно имеет плоскую конструкцию, напоминающую лопасти.
РаботающийpпринципизКарбид кремнияcантилеверpдурачить:
Консольная лопасть может перемещаться вверх и вниз или вперед и назад внутри камеры печи. Ее можно использовать для перемещения пластин из зон загрузки в зоны обработки или из зон обработки, поддерживая и стабилизируя пластины во время высокотемпературной обработки.
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
Свойство | Типичное значение |
Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
содержание карбида кремния | > 99,96% |
Бесплатный Si-контент | < 0,1% |
Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
Кажущаяся пористость | < 16% |
Сила сжатия | > 600 МПа |
Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
Теплопроводность при 1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль упругости | 240 ГПа |
Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |