ПродвинутыйКонсольное весло SiCдля обработки пластин, созданный vet-china, представляет собой отличное решение для производства полупроводников. Эта консольная лопасть изготовлена из материала SiC (карбид кремния), а ее высокая твердость и термостойкость позволяют ей сохранять отличные характеристики в условиях высоких температур и агрессивных сред. Конструкция консольной лопатки позволяет надежно поддерживать пластину во время обработки, снижая риск фрагментации и повреждения.
Консольное весло SiC- это специализированный компонент, используемый в оборудовании для производства полупроводников, таком как печи для окисления, диффузионные печи и печи для отжига. Основное использование - загрузка и выгрузка пластин, поддержка и транспортировка пластин во время высокотемпературных процессов.
Общие структурыизКарбид кремнияcантилеверpдурачить: консольная конструкция, закрепленная на одном конце и свободная на другом, обычно имеет плоскую конструкцию, напоминающую лопасти.
VET Energy использует рекристаллизованный карбид кремния высокой чистоты, чтобы гарантировать качество.
| Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния | |
| Свойство | Типичное значение |
| Рабочая температура (°С) | 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
| содержание карбида кремния | > 99,96% |
| Бесплатный Si-контент | < 0,1% |
| Объемная плотность | 2,60-2,70 г/см3 |
| Кажущаяся пористость | < 16% |
| Сила сжатия | > 600МПа |
| Прочность на холодный изгиб | 80-90 МПа (20°С) |
| Прочность на горячий изгиб | 90-100 МПа (1400°С) |
| Тепловое расширение при 1500°C | 4,70 10-6/°С |
| Теплопроводность при 1200°C | 23Вт/м•К |
| Модуль упругости | 240 ГПа |
| Устойчивость к термическому удару | Очень хорошо |
Преимущества усовершенствованной консольной лопатки SiC компании VET Energy для обработки пластин:
-Высокая температурная стабильность: можно использовать при температуре выше 1600°C;
-Низкий коэффициент теплового расширения: сохраняет стабильность размеров, снижая риск коробления пластины;
-Высокая чистота: меньший риск загрязнения металлами;
-Химическая инертность: устойчив к коррозии, пригоден для различных газовых сред;
-Высокая прочность и твердость: износостойкость, длительный срок службы;
-Хорошая теплопроводность: способствует равномерному нагреву пластин.
-
6-дюймовая пластина SiC типа N
-
Покрытие из карбида тантала: износостойкое, высокопрочное...
-
Водородный топливный элемент 24 В Pemfc Stack 1000 Вт Гидроген...
-
Водородный источник энергии, электроинструмент, топливный элемент 220 Вт...
-
Водородный топливный элемент 2000 Вт Pemfc Stack 25 В Дрон...
-
Специальные высокопрочные фрикционные композиты C/C (CFC)