Усовершенствованная консольная лопатка SiC для обработки пластин

Краткое описание:

В усовершенствованной консольной лопатке SiC для обработки пластин, выпущенной vet-china, используются высокотехнологичные материалы SiC для повышения эффективности и точности обработки пластин. Консольная лопатка Vet-china обладает превосходной термостойкостью и устойчивостью к коррозии, обеспечивая стабильную работу с пластинами в суровых производственных условиях, что делает ее идеальным выбором для повышения производительности производства.


Детали продукта

Теги продукта

ПродвинутыйКонсольное весло SiCдля обработки пластин, созданный vet-china, представляет собой отличное решение для производства полупроводников. Эта консольная лопасть изготовлена ​​из материала SiC (карбид кремния), а ее высокая твердость и термостойкость позволяют ей сохранять отличные характеристики в условиях высоких температур и агрессивных сред. Конструкция консольной лопатки позволяет надежно поддерживать пластину во время обработки, снижая риск фрагментации и повреждения.

Консольное весло SiC- это специализированный компонент, используемый в оборудовании для производства полупроводников, таком как печи для окисления, диффузионные печи и печи для отжига. Основное использование - загрузка и выгрузка пластин, поддержка и транспортировка пластин во время высокотемпературных процессов.

Общие структурыизКарбид кремнияcантилеверpдурачить: консольная конструкция, фиксированная на одном конце и свободная на другом, обычно имеет плоскую конструкцию, напоминающую лопасти.

VET Energy использует рекристаллизованный карбид кремния высокой чистоты, чтобы гарантировать качество.

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния

Свойство

Типичное значение

Рабочая температура (°С)

1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)

содержание карбида кремния

> 99,96%

Бесплатный Si-контент

< 0,1%

Объемная плотность

2,60-2,70 г/см3

Кажущаяся пористость

< 16%

Сила сжатия

> 600МПа

Прочность на холодный изгиб

80-90 МПа (20°С)

Прочность на горячий изгиб

90-100 МПа (1400°С)

Тепловое расширение при 1500°C

4,70 10-6/°С

Теплопроводность при 1200°C

23Вт/м•К

Модуль упругости

240 ГПа

Устойчивость к термическому удару

Очень хорошо

Преимущества усовершенствованной консольной лопатки SiC компании VET Energy для обработки пластин:

-Высокая температурная стабильность: можно использовать при температуре выше 1600°C;

-Низкий коэффициент теплового расширения: сохраняет стабильность размеров, снижая риск коробления пластины;

-Высокая чистота: меньший риск загрязнения металлами;

-Химическая инертность: устойчив к коррозии, пригоден для различных газовых сред;

-Высокая прочность и твердость: износостойкость, длительный срок службы;

-Хорошая теплопроводность: способствует равномерному нагреву пластин.

Консольное весло10
Консольное весло16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!