Покрытая SiC часть полумесяца графита для эпитаксиального оборудования карбида кремния

Краткое описание:

Представление и использование продукта: подключенная кварцевая трубка, может пропускать газ для вращения основания лотка, контроль температуры.

Расположение продукта: в реакционной камере, без прямого контакта с пластиной.

Основная продукция переработки: силовые устройства

Основной рынок терминалов: транспортные средства на новых источниках энергии

 


Детали продукта

Теги продукта

Деталь полумесяца из графита с покрытием SiCis a ключкомпонент, используемый в процессах производства полупроводников, особенно в эпитаксиальном оборудовании SiC.Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления полумесяца.чрезвычайно высокая чистота,хорошийпокрытиеединообразиеи отличный срок службы, а такжевысокая химическая стойкость и термостабильность.

ПОО Энергия тотнастоящий производитель индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с CVD-покрытием,может предоставитьразличныйиндивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. OНаша техническая команда состоит из ведущих отечественных исследовательских институтов и может предоставить более профессиональные решения по материалам.для тебя.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы, чтобы предоставлять более совершенные материалы,иразработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать соединение покрытия с подложкой более прочным и менее склонным к отслоению.

FОсобенности нашей продукции:

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению до 1700..
2. Высокая чистота итепловая однородность
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и долговечность.

ССЗ SiC薄膜基本物理性能

Основные физические свойства CVD SiCпокрытие

性质 / Свойство

典型数值 / Типичное значение

晶体结构 / Кристаллическая структура

FCC β-фаза多晶,主要为(111)取向

密度 / Плотность

3,21 г/см³

硬度 / Твердость

2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)

晶粒大小 / Размер зерна

2~10 мкм

纯度 / Химическая чистота

99,99995%

热容 / Теплоемкость

640 Дж·кг-1·К-1

升华温度 / Температура сублимации

2700℃

抗弯强度 / Прочность на изгиб

415 МПа РТ 4-точечный

杨氏模量 / Модуль Юнга

Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃

导热系数 / ТермалПроводимость

300 Вт·м-1·К-1

热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)

4,5×10-6K-1

1

2

Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!