8-дюймовая кремниевая пластина типа P от VET Energy — это высокопроизводительная кремниевая пластина, предназначенная для широкого спектра полупроводниковых применений, включая солнечные элементы, устройства MEMS и интегральные схемы. Эта пластина, известная своей превосходной электропроводностью и стабильными характеристиками, является предпочтительным выбором для производителей, стремящихся производить надежные и эффективные электронные компоненты. VET Energy обеспечивает точные уровни легирования и высококачественную обработку поверхности для оптимального изготовления устройств.
Эти 8-дюймовые кремниевые пластины типа P полностью совместимы с различными материалами, такими как подложка SiC, пластина SOI, подложка SiN, и подходят для выращивания пластин Epi, обеспечивая универсальность для передовых процессов производства полупроводников. Пластины также можно использовать в сочетании с другими высокотехнологичными материалами, такими как оксид галлия Ga2O3 и пластина AlN, что делает их идеальными для электронных приложений следующего поколения. Их прочная конструкция также легко вписывается в кассетные системы, обеспечивая эффективную обработку больших объемов продукции.
VET Energy предоставляет клиентам индивидуальные решения для пластин. Мы можем изготовить пластины с различным удельным сопротивлением, содержанием кислорода, толщиной и т. д. в соответствии с конкретными потребностями клиентов. Кроме того, мы также предоставляем профессиональную техническую поддержку и послепродажное обслуживание, чтобы помочь клиентам решить различные проблемы, возникающие в процессе производства.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
*n-Pm=n-тип Pm-класс,n-Ps=n-тип Ps-класс,Sl=полуизолирующий
Элемент | 8-дюймовый | 6-дюймовый | 4-дюймовый | ||
НП | n-PM | н-Пс | SI | SI | |
ТТВ(ГБИР) | ≤6 мкм | ≤6 мкм | |||
Лук(GF3YFCD)-Абсолютная ценность | ≤15 мкм | ≤15 мкм | ≤25 мкм | ≤15 мкм | |
Деформация(GF3YFER) | ≤25 мкм | ≤25 мкм | ≤40 мкм | ≤25 мкм | |
ЛТВ(СБИР)-10ммх10мм | <2 мкм | ||||
Край вафли | Снятие фаски |
ОТДЕЛКА ПОВЕРХНОСТИ
*n-Pm=n-тип Pm-класс,n-Ps=n-тип Ps-класс,Sl=полуизолирующий
Элемент | 8-дюймовый | 6-дюймовый | 4-дюймовый | ||
НП | n-PM | н-Пс | SI | SI | |
Поверхностная обработка | Двусторонняя оптическая полировка, Si-Face CMP | ||||
Шероховатость поверхности | (10 мкм x 10 мкм) Si-FaceRa≤0,2 нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2 нм | |||
Краевые чипы | Нет Разрешено (длина и ширина≥0,5 мм) | ||||
Отступы | Ничего не разрешено | ||||
Царапины (Si-Face) | Кол-во.≤5, накопительный | Кол-во.≤5, накопительный | Кол-во.≤5, накопительный | ||
Трещины | Ничего не разрешено | ||||
Исключение краев | 3 мм |