12-дюймовая пластина SOI VET Energy представляет собой высокопроизводительный полупроводниковый материал подложки, который пользуется большой популярностью благодаря своим превосходным электрическим свойствам и уникальной структуре. VET Energy использует передовые процессы производства пластин SOI, чтобы гарантировать, что пластина имеет чрезвычайно низкий ток утечки, высокую скорость и радиационную стойкость, обеспечивая прочную основу для ваших высокопроизводительных интегральных схем.
Линейка продуктов VET Energy не ограничивается пластинами SOI. Мы также предлагаем широкий ассортимент полупроводниковых подложек, включая Si-подложки, SiC-подложки, SiN-подложки, Epi-подложки и т. д., а также новые полупроводниковые материалы с широкой запрещенной зоной, такие как оксид галлия Ga2O3 и пластины AlN. Эти продукты могут удовлетворить потребности различных клиентов в силовой электронике, радиочастотах, датчиках и других областях.
Ориентируясь на совершенство, в наших пластинах КНИ также используются современные материалы, такие как оксид галлия Ga2O3, кассеты и пластины AlN, чтобы обеспечить надежность и эффективность на каждом рабочем уровне. Доверьте VET Energy предоставление передовых решений, которые откроют путь к технологическому прогрессу.
Раскройте потенциал своего проекта с превосходной производительностью 12-дюймовых пластин SOI VET Energy. Расширьте свои инновационные возможности с помощью пластин, которые воплощают в себе качество, точность и инновации, закладывая основу для успеха в динамичной области полупроводниковых технологий. Выбирайте VET Energy, чтобы получить премиальные решения на пластинах SOI, которые превосходят ожидания.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
*n-Pm=n-тип Pm-класс,n-Ps=n-тип Ps-класс,Sl=полуизолирующий
Элемент | 8-дюймовый | 6-дюймовый | 4-дюймовый | ||
НП | n-PM | н-Пс | SI | SI | |
ТТВ(ГБИР) | ≤6 мкм | ≤6 мкм | |||
Лук(GF3YFCD)-Абсолютная ценность | ≤15 мкм | ≤15 мкм | ≤25 мкм | ≤15 мкм | |
Деформация(GF3YFER) | ≤25 мкм | ≤25 мкм | ≤40 мкм | ≤25 мкм | |
ЛТВ(СБИР)-10ммх10мм | <2 мкм | ||||
Край вафли | Снятие фаски |
ОТДЕЛКА ПОВЕРХНОСТИ
*n-Pm=n-тип Pm-класс,n-Ps=n-тип Ps-класс,Sl=полуизолирующий
Элемент | 8-дюймовый | 6-дюймовый | 4-дюймовый | ||
НП | n-PM | н-Пс | SI | SI | |
Поверхностная обработка | Двусторонняя оптическая полировка, Si-Face CMP | ||||
Шероховатость поверхности | (10 мкм x 10 мкм) Si-FaceRa≤0,2 нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2 нм | |||
Краевые чипы | Нет Разрешено (длина и ширина≥0,5 мм) | ||||
Отступы | Ничего не разрешено | ||||
Царапины (Si-Face) | Кол-во.≤5, накопительный | Кол-во.≤5, накопительный | Кол-во.≤5, накопительный | ||
Трещины | Ничего не разрешено | ||||
Исключение краев | 3 мм |