vet-china gwarantuje, że każdy produkt będzie trwałyŁopatka do przenoszenia płytek z węglika krzemucharakteryzuje się doskonałą wydajnością i trwałością. W tej łopatce do przenoszenia płytek z węglika krzemu zastosowano zaawansowane procesy produkcyjne, aby zapewnić stabilność strukturalną i funkcjonalność w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozji chemicznej. Ta innowacyjna konstrukcja zapewnia doskonałe wsparcie w obsłudze płytek półprzewodnikowych, zwłaszcza w przypadku precyzyjnych, zautomatyzowanych operacji.
Wiosło wspornikowe SiCto wyspecjalizowany komponent stosowany w sprzęcie do produkcji półprzewodników, takim jak piec do utleniania, piec dyfuzyjny i piec do wyżarzania, którego głównym zastosowaniem jest załadunek i rozładunek płytek, podparcie i transport płytek podczas procesów wysokotemperaturowych.
Wspólne strukturyzSiCcantylewarpzepsuć: konstrukcja wspornikowa, zamocowana na jednym końcu i wolna na drugim, ma zazwyczaj płaską konstrukcję przypominającą wiosło.
PracującypzasadazSiCcantylewarpzepsuć:
Łopatka wspornikowa może poruszać się w górę i w dół lub tam i z powrotem w komorze pieca. Można jej używać do przenoszenia płytek z obszarów załadunku do obszarów przetwarzania lub poza obszary przetwarzania, podpierając i stabilizując wafle podczas przetwarzania w wysokiej temperaturze.
Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu | |
Nieruchomość | Typowa wartość |
Temperatura pracy (°C) | 1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące) |
Zawartość SiC | > 99,96% |
Darmowa zawartość Si | < 0,1% |
Gęstość nasypowa | 2,60-2,70 g/cm23 |
Pozorna porowatość | < 16% |
Siła ściskania | > 600 MPa |
Wytrzymałość na zginanie na zimno | 80-90 MPa (20°C) |
Wytrzymałość na zginanie na gorąco | 90-100 MPa (1400°C) |
Rozszerzalność cieplna przy 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Przewodność cieplna @1200°C | 23 W/m·K |
Moduł sprężystości | 240 GPa |
Odporność na szok termiczny | Niezwykle dobre |