ZaawansowaniWiosło wspornikowe SiCfor Wafer Processing stworzony przez firmęvet-china zapewnia doskonałe rozwiązanie do produkcji półprzewodników. To wiosło wspornikowe wykonane jest z materiału SiC (węglik krzemu), a jego wysoka twardość i odporność na ciepło pozwalają zachować doskonałą wydajność w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjnym. Konstrukcja wiosła wspornikowego umożliwia niezawodne podparcie płytki podczas przetwarzania, zmniejszając ryzyko fragmentacji i uszkodzenia.
Wiosło wspornikowe SiCto wyspecjalizowany komponent stosowany w sprzęcie do produkcji półprzewodników, takim jak piec do utleniania, piec dyfuzyjny i piec do wyżarzania, którego głównym zastosowaniem jest załadunek i rozładunek płytek, podparcie i transport płytek podczas procesów wysokotemperaturowych.
Wspólne strukturyzSiCcantylewarpzepsuć: konstrukcja wspornikowa, zamocowana na jednym końcu i wolna na drugim, ma zazwyczaj płaską konstrukcję przypominającą wiosło.
Aby zagwarantować jakość, firma VET Energy wykorzystuje rekrystalizowane materiały z węglika krzemu o wysokiej czystości.
| Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu | |
| Nieruchomość | Typowa wartość |
| Temperatura pracy (°C) | 1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące) |
| Zawartość SiC | > 99,96% |
| Darmowa zawartość Si | < 0,1% |
| Gęstość nasypowa | 2,60-2,70 g/cm23 |
| Pozorna porowatość | < 16% |
| Siła ściskania | > 600MPa |
| Wytrzymałość na zginanie na zimno | 80-90 MPa (20°C) |
| Wytrzymałość na zginanie na gorąco | 90-100 MPa (1400°C) |
| Rozszerzalność cieplna przy 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Przewodność cieplna @1200°C | 23W/m·K |
| Moduł sprężystości | 240 GPa |
| Odporność na szok termiczny | Niezwykle dobre |
Zaletami zaawansowanej łopatki wspornikowej SiC firmy VET Energy do przetwarzania płytek są:
-Stabilność w wysokiej temperaturze: nadaje się do użytku w środowiskach powyżej 1600°C;
-Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej: utrzymuje stabilność wymiarową, zmniejszając ryzyko wypaczenia płytki;
-Wysoka czystość: mniejsze ryzyko zanieczyszczenia metalami;
-obojętność chemiczna: odporna na korozję, odpowiednia dla różnych środowisk gazowych;
-Wysoka wytrzymałość i twardość: odporna na zużycie, długa żywotność;
-Dobra przewodność cieplna: pomaga w równomiernym nagrzewaniu płytek.
-
Źródło fabryczne Wysokiej jakości elektrolit do samochodów dostawczych...
-
Membrana jonowymienna ogniwa paliwowego, wanadowo-redukcyjna...
-
Elektryczna/elektryczna pompa próżniowa UP30 z obrotową łopatką
-
Wodorowe ogniwo paliwowe 1 kW Ogniwo paliwowe 24 V Przenośne p...
-
Pemfc Stack Wodorowe ogniwo paliwowe Drone Ogniwo paliwowe...
-
Generator ogniw paliwowych Wodór Przenośne urządzenie wodorowe...