Susceptor beczkowy do epitaksji w fazie ciekłej LPE

Krótki opis:

VET Energy jest profesjonalnym producentem, dostawcą i eksporterem susceptora beczkowego do epitaksji w fazie ciekłej LPE. Wspierana przez krajowe ośrodki badawcze i wiodącą technologię, VET Energy może zapewnić wysoką jakość w rozsądnych cenach. zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w celu dalszej dyskusji.

Wyślij e-mail do nas Pobierz jako plik PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Susceptor beczkowy do epitaksji w fazie ciekłej LPE

EPI (epitaksja)to krytyczny proces w produkcji zaawansowanych półprzewodników. Polega na osadzaniu cienkich warstw materiału na podłożu w celu stworzenia skomplikowanych konstrukcji urządzeń. Susceptory beczkowe z grafitu pokrytego SiC do EPI są powszechnie stosowane jako susceptory w reaktorach EPI ze względu na ich doskonałą przewodność cieplną i odporność na wysokie temperatury. ZPowłoka CVD-SiCstaje się bardziej odporny na zanieczyszczenia, erozję i szok termiczny. Skutkuje to dłuższą żywotnością susceptora i lepszą jakością folii.

Zalety naszego susceptora beczkowego do epitaksji w fazie ciekłej LPE:
Zmniejszone zanieczyszczenie:Obojętny charakter SiC zapobiega przyleganiu zanieczyszczeń do powierzchni susceptora, zmniejszając ryzyko zanieczyszczenia osadzonych filmów.
Zwiększona odporność na erozję:SiC jest znacznie bardziej odporny na erozję niż konwencjonalny grafit, co prowadzi do dłuższej żywotności susceptora.
Poprawiona stabilność termiczna:SiC ma doskonałą przewodność cieplną i może wytrzymać wysokie temperatury bez znaczących zniekształceń.
Zwiększona jakość filmu:Poprawiona stabilność termiczna i zmniejszone zanieczyszczenie skutkują wyższą jakością osadzonych folii, lepszą jednorodnością i kontrolą grubości.

Informacje o firmie

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd to zaawansowane technologicznie przedsiębiorstwo skupiające się na produkcji i sprzedaży wysokiej klasy zaawansowanych materiałów, materiałów i technologii, w tym grafitu, węglika krzemu, ceramiki, obróbki powierzchni, takiej jak powłoki SiC, powłoki TaC, węgiel szklisty powłoka, pirolityczna powłoka węglowa itp., produkty te są szeroko stosowane w fotowoltaice, półprzewodnikach, nowej energii, metalurgii itp.

Nasz zespół techniczny pochodzi z najlepszych krajowych instytucji badawczych i opracował wiele opatentowanych technologii, aby zapewnić wydajność i jakość produktu, może również zapewnić klientom profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszego laboratorium i zakładu w celu dyskusji technicznych i współpracy!