Ten 6-calowy wafel SiC typu N został zaprojektowany z myślą o zwiększonej wydajności w ekstremalnych warunkach, co czyni go idealnym wyborem do zastosowań wymagających dużej mocy i odporności na temperaturę. Kluczowe produkty związane z tą płytką obejmują wafel Si, podłoże SiC, wafel SOI i podłoże SiN. Materiały te zapewniają optymalną wydajność w różnych procesach produkcji półprzewodników, dzięki czemu urządzenia są zarówno energooszczędne, jak i trwałe.
Dla firm pracujących z płytkami Epi, tlenkiem galu Ga2O3, kasetami lub płytkami AlN, 6-calowe płytki SiC typu N firmy VET Energy stanowią niezbędną podstawę do innowacyjnego rozwoju produktów. Niezależnie od tego, czy chodzi o elektronikę dużej mocy, czy najnowszą technologię RF, płytki te zapewniają doskonałą przewodność i minimalny opór cieplny, przesuwając granice wydajności i wydajności.
SPECYFIKACJA WAFERÓW
*n-Pm=typ n Pm-Grade,n-Ps=typ n-Ps-Grade,Sl=półizolujący
Przedmiot | 8-calowy | 6-calowy | 4-calowy | ||
nP | popołudniu | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Łuk(GF3YFCD)-Wartość absolutna | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Wypaczenie (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Krawędź wafla | Fazowanie |
WYKOŃCZENIE POWIERZCHNI
*n-Pm=typ n Pm-Grade,n-Ps=typ n-Ps-Grade,Sl=półizolujący
Przedmiot | 8-calowy | 6-calowy | 4-calowy | ||
nP | popołudniu | n-Ps | SI | SI | |
Wykończenie powierzchni | Dwustronny lakier optyczny, Si-Face CMP | ||||
Chropowatość powierzchni | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Chipy krawędziowe | Brak Dozwolone (długość i szerokość ≥0,5 mm) | ||||
Wcięcia | Brak Dozwolone | ||||
Zadrapania (Si-Face) | Ilość ≤5, skumulowane | Ilość ≤5, skumulowane | Ilość ≤5, skumulowane | ||
Spękanie | Brak Dozwolone | ||||
Wykluczenie krawędzi | 3mm |