Nośnik powłoki RTP/RTA SiC do wzrostu epitaksjalnego MOCVD

Krótki opis:

VET Energy RTP/RTA SiC Coating Carrier to produkt o wysokiej wydajności, zaprojektowany w celu zapewnienia stałego i niezawodnego działania przez dłuższy czas. Ma bardzo dobrą odporność na ciepło i jednorodność termiczną, wysoką czystość, odporność na erozję, co czyni go idealnym rozwiązaniem do zastosowań w przetwarzaniu płytek.


  • Miejsce pochodzenia:Chiny
  • Struktura kryształu:Faza FCCβ
  • Gęstość:3,21 g/cm2
  • Twardość:2500 Vickersów
  • Rozmiar ziarna:2 ~ 10 μm
  • Czystość chemiczna:99,99995%
  • Pojemność cieplna:640J·kg-1·K-1
  • Temperatura sublimacji:2700 ℃
  • Siła Felexuralna:415 Mpa (RT 4-punktowy)
  • Moduł Younga:430 GPa (zgięcie 4-punktowe, 1300 ℃)
  • Rozszerzalność cieplna (CTE):4,5 10-6K-1
  • Przewodność cieplna:300 (W/MK)
  • Szczegóły produktu

    Tagi produktów

    Nośnik powłoki SiC Dla RTP/RTA jest kluczowym komponentem stosowanym w procesach produkcji półprzewodników zwanych szybkim przetwarzaniem termicznym i wyżarzaniem. Korzystamy z naszej opatentowanej technologii, aby uzyskać nośnik z węglika krzemu o wyjątkowo wysokiej czystości, dobrej jednorodności powłoki i doskonałej żywotności, jak a także wysoką odporność chemiczną i stabilność termiczną.

    Cechy naszych produktów:

    1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1700 ℃.
    2. Wysoka czystość i jednorodność termiczna
    3. Doskonała odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.

    4. Wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząstki.
    5. Dłuższa żywotność i trwałość

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Podstawowe właściwości fizyczne CVD SiCpowłoka

    性质 / Nieruchomość

    典型数值 / Typowa wartość

    晶体结构 / Struktura kryształu

    Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向

    密度 / Gęstość

    3,21 g/cm3

    硬度 / Twardość

    2500 维氏硬度 (ładunek 500g)

    晶粒大小 / ROZMIAR ZIARNA

    2 ~ 10 μm

    纯度 / Czystość chemiczna

    99,99995%

    热容 / Pojemność cieplna

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Temperatura sublimacji

    2700 ℃

    抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie

    415 MPa RT 4-punktowy

    杨氏模量 / Moduł Younga

    Zakręt 430 Gpa, 4-punktowy, 1300 ℃

    导热系数 / TermalPrzewodność

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy jest prawdziwym producentem niestandardowych produktów z grafitu i węglika krzemu z różnymi powłokami, takimi jak powłoka SiC, powłoka TaC, powłoka z węgla szklistego, powłoka z węgla pirolitycznego itp. Może dostarczać różne niestandardowe części dla przemysłu półprzewodników i fotowoltaiki.

    Nasz zespół techniczny pochodzi z najlepszych krajowych instytucji badawczych, może zapewnić Ci bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

    Stale rozwijamy zaawansowane procesy, aby dostarczać bardziej zaawansowane materiały i opracowaliśmy ekskluzywną opatentowaną technologię, która może sprawić, że wiązanie pomiędzy powłoką a podłożem będzie mocniejsze i mniej podatne na odrywanie.

    Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy dalej!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Poprzedni:
  • Następny:

  • Czat online WhatsApp!