vet-china presenterer den innovative Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, en omfattende løsning for avansert halvlederbehandling. Dette waferhåndteringssystemet er designet med omhyggelig presisjon og gir uovertruffen stabilitet og justering, avgjørende for høyeffektive produksjonsmiljøer.
Vertical Column Wafer Boat & Pidestal er konstruert med førsteklasses materialer som garanterer termisk stabilitet og motstand mot kjemisk korrosjon, noe som gjør den egnet for de mest krevende halvlederfremstillingsprosessene. Dens unike vertikale søyledesign støtter wafere sikkert, og reduserer risikoen for feiljustering og potensiell skade under transport og prosessering.
Med integrasjonen av vet-kinas Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, kan halvlederprodusenter forvente forbedret gjennomstrømning, minimal nedetid og økt produktutbytte. Dette systemet er kompatibelt med ulike waferstørrelser og konfigurasjoner, og tilbyr fleksibilitet og skalerbarhet for ulike produksjonsbehov.
vet-kinas forpliktelse til fortreffelighet sikrer at hver Vertical Column Wafer Boat & Pidestall oppfyller de høyeste standardene for kvalitet og ytelse. Ved å velge denne banebrytende løsningen investerer du i en fremtidssikker tilnærming til waferhåndtering som maksimerer effektivitet og pålitelighet i halvlederproduksjon.
Egenskaper til rekrystallisert silisiumkarbid
Rekrystallisert silisiumkarbid (R-SiC) er et høyytelsesmateriale med hardhet nest etter diamant, som dannes ved en høy temperatur over 2000 ℃. Den beholder mange utmerkede egenskaper til SiC, som høy temperaturstyrke, sterk korrosjonsbestandighet, utmerket oksidasjonsmotstand, god termisk sjokkbestandighet og så videre.
● Utmerkede mekaniske egenskaper. Omkrystallisert silisiumkarbid har høyere styrke og stivhet enn karbonfiber, høy slagfasthet, kan spille en god ytelse i ekstreme temperaturmiljøer, kan spille en bedre motvekt i en rekke situasjoner. I tillegg har den også god fleksibilitet og blir ikke lett skadet av strekking og bøying, noe som forbedrer ytelsen betraktelig.
● Høy korrosjonsbestandighet. Omkrystallisert silisiumkarbid har høy korrosjonsbestandighet mot en rekke medier, kan forhindre erosjon av en rekke korrosive medier, kan opprettholde sine mekaniske egenskaper i lang tid, har en sterk vedheft, slik at den har lengre levetid. I tillegg har den også god termisk stabilitet, kan tilpasse seg et visst område av temperaturendringer, forbedre påføringseffekten.
● Sintring krymper ikke. Fordi sintringsprosessen ikke krymper, vil ingen gjenværende spenning forårsake deformasjon eller sprekkdannelse av produktet, og deler med komplekse former og høy presisjon kan forberedes.
| 重结晶碳化硅物理特性 Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid | |
| 性质 / Eiendom | 典型数值 / Typisk verdi |
| 使用温度/ Arbeidstemperatur (°C) | 1600°C (med oksygen), 1700°C (reduserende miljø) |
| SiC含量/ SiC innhold | > 99,96 % |
| 自由Si含量/ Gratis Si-innhold | < 0,1 % |
| 体积密度/Bulk tetthet | 2,60-2,70 g/cm3 |
| 气孔率/ Tilsynelatende porøsitet | < 16 % |
| 抗压强度/ Kompresjonsstyrke | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Kald bøyestyrke | 80–90 MPa (20 °C) |
| 高温抗弯强度Varmbøyningsstyrke | 90-100 MPa (1400 °C) |
| 热膨胀系数/ Termisk ekspansjon @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Termisk ledningsevne @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Elastisk modul | 240 GPa |
| 抗热震性/ Termisk støtmotstand | Ekstremt bra |
VET Energy er deekte produsent av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med CVD-belegg,kan leverediversetilpassede deler for halvleder- og solcelleindustrien. Our tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, kan tilby mer profesjonelle materialløsningerfor deg.
Vi utvikler kontinuerlig avanserte prosesser for å tilby mer avanserte materialer,oghar utarbeidet en eksklusiv patentert teknologi, som kan gjøre bindingen mellom belegget og underlaget tettere og mindre utsatt for løsrivelse.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg | |
| 性质 / Eiendom | 典型数值 / Typisk verdi |
| 晶体结构 / Krystallstruktur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tetthet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardhet | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10μm |
| 纯度 / Kjemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Varmekapasitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøyestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalKonduktivitet | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss diskutere videre!
