keramisk belegg av silisiumkarbid

Veterinær-KinaSilisiumkarbidkeramikkCoating er et høyytelses beskyttende belegg laget av ekstremt hardt og slitesterktsilisiumkarbid (SiC)materiale, som gir utmerket kjemisk korrosjonsbestandighet og høy temperatur stabilitet. Disse egenskapene er avgjørende i halvlederproduksjon, såSilisiumkarbid keramisk belegger mye brukt i nøkkelkomponenter i halvlederproduksjonsutstyr.

Den spesifikke rollen til Vet-KinaSilisiumkarbidkeramikkBelegg i halvlederproduksjon er som følger:

Forbedre utstyrets holdbarhet:Silisiumkarbid keramisk belegg Silisiumkarbid keramisk belegg gir utmerket overflatebeskyttelse for utstyr til produksjon av halvledere med sin ekstremt høye hardhet og slitestyrke. Spesielt i høytemperatur og svært korrosive prosessmiljøer, som kjemisk dampavsetning (CVD) og plasmaetsing, kan belegget effektivt forhindre at overflaten på utstyret skades av kjemisk erosjon eller fysisk slitasje, og dermed forlenge levetiden til utstyret betydelig. utstyret og redusere nedetid forårsaket av hyppig utskifting og reparasjon.

Forbedre prosessrenheten:I halvlederproduksjonsprosessen kan liten forurensning forårsake produktfeil. Den kjemiske tregheten til silisiumkarbidkeramisk belegg gjør at den forblir stabil under ekstreme forhold, og forhindrer materialet i å frigjøre partikler eller urenheter, og sikrer dermed prosessens miljørenhet. Dette er spesielt viktig for produksjonstrinn som krever høy presisjon og høy renslighet, slik som PECVD og ioneimplantasjon.

Optimaliser termisk styring:I høytemperatur-halvlederbehandling, slik som rask termisk prosessering (RTP) og oksidasjonsprosesser, muliggjør den høye termiske ledningsevnen til silisiumkarbidkeramisk belegg jevn temperaturfordeling inne i utstyret. Dette bidrar til å redusere termisk stress og materialdeformasjon forårsaket av temperatursvingninger, og forbedrer dermed nøyaktigheten og konsistensen av produktets produksjon.

Støtte komplekse prosessmiljøer:I prosesser som krever kompleks atmosfærekontroll, som ICP-etse- og PSS-etseprosesser, sikrer stabiliteten og oksidasjonsmotstanden til Silicon Carbide Ceramic Coating at utstyret opprettholder stabil ytelse i langsiktig drift, og reduserer risikoen for materialforringelse eller utstyrsskade pga. til miljøendringer.