Tønnesusceptor for væskefase-epitaksi LPE
EPI (Epitaxy)er en kritisk prosess i produksjonen av avanserte halvledere. Det innebærer avsetning av tynne lag med materiale på et underlag for å skape komplekse enhetsstrukturer. SiC-belagt grafittfat-susceptor for EPI brukes ofte som susceptor i EPI-reaktorer på grunn av deres utmerkede varmeledningsevne og motstand mot høye temperaturer. MedCVD-SiC belegg, blir den mer motstandsdyktig mot forurensning, erosjon og termisk sjokk. Dette resulterer i lengre levetid for susceptoren og forbedret filmkvalitet.
Fordeler med vår tønnesusceptor for flytende fase-epitaksi LPE:
Redusert forurensning:SiCs inerte natur forhindrer urenheter i å feste seg til susceptoroverflaten, noe som reduserer risikoen for kontaminering av de avsatte filmene.
Økt erosjonsmotstand:SiC er betydelig mer motstandsdyktig mot erosjon enn konvensjonell grafitt, noe som fører til lengre levetid for susceptoren.
Forbedret termisk stabilitet:SiC har utmerket varmeledningsevne og tåler høye temperaturer uten vesentlig forvrengning.
Forbedret filmkvalitet:Den forbedrede termiske stabiliteten og redusert forurensning resulterer i avsatte filmer av høyere kvalitet med forbedret jevnhet og tykkelseskontroll.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en høyteknologisk bedrift som fokuserer på produksjon og salg av avanserte materialer, materialer og teknologi inkludert grafitt, silisiumkarbid, keramikk, overflatebehandling som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbon belegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc., disse produktene er mye brukt i fotovoltaiske, halvledere, ny energi, metallurgi, etc..
Vårt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, og har utviklet flere patenterte teknologier for å sikre produktytelse og kvalitet, kan også gi kundene profesjonelle materialløsninger.
Vi ønsker deg hjertelig velkommen til å besøke vårt laboratorium og anlegg for teknisk diskusjon og samarbeid!
