Epitaksial Epi Graphite Barrel Susceptor
Epitaksial Epi Graphite Barrel Susceptorer en spesialdesignet støtte- og oppvarmingsenhet som brukes til å holde og varme halvledersubstrater under produksjonsprosesser som avsetnings- eller epitaksi-prosesser.
Strukturen inkluderer typisk sylindrisk eller lett tønneformet overflate med flere lommer eller plattformer for plassering av skivene, kan være solid eller hul design, avhengig av oppvarmingsmetoden.
Hovedfunksjonene til epitaksial tønnesusceptor:
-Substratstøtte: holder sikkert flere halvlederskiver;
-Varmekilde: gir høye temperaturer som kreves for vekst gjennom oppvarming;
-Temperatureuniformitet: sikrer jevn oppvarming av underlag;
-Rotasjon: roterer vanligvis under vekst for å forbedre jevnhet i temperatur og gassfordeling.
Arbeidsprinsipp for Epi grafitt fat susceptor:
- I epitaksialreaktoren oppvarmes tønnesusceptoren til ønsket temperatur (typisk 1000℃-1200℃ for silisiumepitaksi);
-Tønnesusceptoren roterer for å sikre jevn temperaturfordeling og gassstrøm;
-Reaksjonsgasser brytes ned ved høye temperaturer, og danner epitaksiale lag på substratoverflaten.
Søknader:
- Primært brukt til epitaksial silisiumvekst
-Gjelder også for epitaksi av andre halvledermaterialer som GaAs, InP, etc.
VET Energy bruker høyrent grafitt med CVD-SiC-belegg for å forbedre den kjemiske stabiliteten:
Fordelene med VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:
- Høy temperatur stabilitet;
-God termisk jevnhet;
-Kan behandle flere substrater samtidig, forbedre produksjonseffektiviteten;
- Kjemisk inert, opprettholder et vekstmiljø med høy renhet.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en høyteknologisk bedrift som fokuserer på produksjon og salg av avanserte materialer, materialer og teknologi inkludert grafitt, silisiumkarbid, keramikk, overflatebehandling som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbon belegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc., disse produktene er mye brukt i fotovoltaiske, halvledere, ny energi, metallurgi, etc..
Vårt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, og har utviklet flere patenterte teknologier for å sikre produktytelse og kvalitet, kan også gi kundene profesjonelle materialløsninger.
Vi ønsker deg hjertelig velkommen til å besøke vårt laboratorium og anlegg for teknisk diskusjon og samarbeid!
