Силиконски карбид облога од графитна фиока и капак

Силикон карбид облога од графитна фиока плоча и капак Избрана слика

Краток опис:

Графитната плоча и капакот со облога од силициум карбид VET Energy е производ со високи перформанси дизајниран да обезбеди постојани и сигурни перформанси во подолг период. Има супер добра отпорност на топлина и топлинска униформност, висока чистота, отпорност на ерозија, што го прави совршено решение за апликации за обработка на нафора.

Испратете ни е-пошта Преземете како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

ВЕТ енергијаГрафитен послужавник со облога од силикон карбид, Plate, and Cover е дизајниран да дава врвни перформанси, обезбедувајќи сигурна и конзистентна работа со продолжена употреба, што го прави суштински избор за апликации за обработка на нафора во полупроводничката индустрија. Ова со високи перформансиГрафитна плоча за обложување на силициум карбидможе да се пофали со исклучителна отпорност на топлина, супериорна топлинска униформност и извонредна хемиска стабилност, особено во услови на висока температура. Неговата конструкција со висока чистота, заедно со напредната отпорност на ерозија, го прави неопходен за тешки средини како што сеMOCVD чувствителни.

Клучни карактеристики на фиоката, плочата и капакот од графит со облога од силикон карбид

1. Отпорност на оксидација на висока температура:Издржува температури до 1700℃, овозможувајќи му да работи сигурно во екстремни услови.

2. Висока чистота и топлинска униформност:Конзистентна висока чистота и рамномерна дистрибуција на топлина се клучни за апликациите MOCVD.

3. Исклучителна отпорност на корозија:Отпорен на киселини, алкалии, соли и разни органски реагенси, обезбедувајќи долготрајна стабилност во различни средини.

4. Висока цврстина и компактна површина:Се одликува со густа површина со фини честички, што ја подобрува целокупната издржливост и отпорност на абење.

5. Продолжен работен век:Дизајниран за долговечност, надминувајќи го конвенционалноточувствителни графитни обложени со силициум карбидво сурови средини за обработка на полупроводници.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога
性质 / Имотот	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111).
密度 / Густина	3,21 g/cm³
硬度 / Цврстина	2500 维氏硬度 (500 g оптоварување)
晶粒大小 / Големина на жито	2 ~ 10 μm
纯度 / Хемиска чистота	99,99995%
热容 / Топлински капацитет	640 J·kg^-1· К^-1
升华温度 / Температура на сублимација	2700 ℃
抗弯强度 / Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
杨氏模量 / Модул на Јанг	430 Gpa 4pt кривина, 1300℃
导热系数 / ТермалСпроводливост	300 W·m^-1· К^-1
热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Експертиза на VET Energy во приспособени решенија за графит и силициум карбид

Како доверлив производител, VET Energy е специјализирана за прилагодено дизајнирани графитни сензори и решенија за премачкување силициум карбид. Ние нудиме палета на производи прилагодени за полупроводничките и фотоволтаичните индустрии, вклучително иГрафитни компоненти обложени со SiCкако послужавници, чинии и корици. Нашата производна постава вклучува и различни опции за обложување, како на прSiC облога за MOCVD, TaC облога, стаклен јаглероден слој, и пиролитичка јаглеродна обвивка, со што ќе се осигураме дека ги исполнуваме различните барања на високотехнолошките индустрии.

Нашиот искусен технички тим, составен од експерти од врвни домашни истражувачки институции, обезбедува сеопфатни материјални решенија за клиентите. Постојано ги усовршуваме нашите напредни процеси, вклучително и ексклузивна патентирана технологија која го подобрува поврзувањето помеѓу облогата од силициум карбид и подлогата од графит, намалувајќи го ризикот од откачување и дополнително продолжување на животниот век на производот.

Апликации и придобивки во производството на полупроводници

НаСилициум карбид слој за MOCVDги прави овие графитни сензори високо ефективни во високотемпературни, корозивни средини. Без разлика дали се користат како носачи на графитни обланди или други компоненти на MOCVD, овие сензори обложени со силициум карбид покажуваат супериорна издржливост и перформанси. За оние кои бараат сигурни решенија воГрафитен чувствител обложен со SiCна пазарот, фиоката, плочата и капакот за графит обложена со силициум карбид на VET Energy нудат робусна и разновидна опција која ги задоволува ригорозните барања на индустријата за полупроводници.

Фокусирајќи се на напредната наука за материјалите, VET Energy е посветена на обезбедување решенија за графитни обложени со SiC со високи перформанси кои поттикнуваат иновации во полупроводничката обработка и обезбедуваат сигурни перформанси во сите апликации поврзани со MOCVD.

VET Energy е вистински производител на прилагодени производи од графит и силициум карбид со различни премази како облога SiC, TaC облога, стаклен јаглероден слој, пиролитички јаглероден слој итн., Може да снабдува различни приспособени делови за полупроводничка и фотоволтаична индустрија.

Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да обезбеди повеќе професионални материјални решенија за вас.

Постојано развиваме напредни процеси за да обезбедиме понапредни материјали и развивме ексклузивна патентирана технологија, која може да го направи поврзувањето помеѓу облогата и подлогата поцврсто и помалку подложно на одлепување.

Топло добредојде да ја посетите нашата фабрика, ајде да разговараме понатаму!