Кинески производител SiC обложен графит MOCVD Epitaxy Susceptor

Краток опис:

Чистота < 5 ppm
‣ Добра униформност на допингот
‣ Висока густина и адхезија
‣ Добра антикорозивна и јаглеродна отпорност

‣ Професионално прилагодување
‣ Кратко време на испорака
‣ Стабилно снабдување
‣ Контрола на квалитетот и постојано подобрување

Епитаксијата на ГаН на сафир(RGB/Mini/Micro LED);
Епитаксијата на GaN на Si супстрат(UVC);
Епитаксијата на GaN на Si супстрат(Електронски уред);
Епитаксијата на Si на Si супстрат(Интегрирано коло);
Епитаксија на SiC на подлогата на SiC(Супстрат);
Епитаксија на InP на InP

Испратете ни е-пошта Преземете како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

Висококвалитетен MOCVD Susceptor Купете онлајн во Кина

Нафора треба да помине низ неколку чекори пред да биде подготвена за употреба во електронски уреди. Еден важен процес е силиконската епитаксија, во која наполитанките се носат на графитни сензори. Својствата и квалитетот на суцепторите имаат пресудно влијание врз квалитетот на епитаксиалниот слој на нафората.

За фазите на таложење на тенок филм, како што се епитаксија или MOCVD, VET обезбедува ултра-чиста графитна опрема што се користи за поддршка на подлоги или „наполитанки“. Во сржта на процесот, оваа опрема, сензори за епитаксии или сателитски платформи за MOCVD, прво се подложени на околината за таложење:

Висока температура.
Висок вакуум.
Употреба на агресивни гасовити прекурсори.
Нулта контаминација, отсуство на лупење.
Отпорност на силни киселини за време на операциите на чистење

VET Energy е вистински производител на прилагодени производи од графит и силициум карбид со облога за полупроводничка и фотоволтаична индустрија. Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да обезбеди повеќе професионални материјални решенија за вас.

Постојано развиваме напредни процеси за да обезбедиме понапредни материјали и развивме ексклузивна патентирана технологија, која може да го направи поврзувањето помеѓу облогата и подлогата поцврсто и помалку подложно на одлепување.

Карактеристики на нашите производи:

1. Отпорност на оксидација на висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота и топлинска униформност
3. Одлична отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
4. Висока цврстина, компактна површина, фини честички.
5. Подолг работен век и потрајни

CVD SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога
性质 / Имотот	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111).
密度 / Густина	3,21 g/cm³
硬度 / Цврстина	2500 维氏硬度 (500 g оптоварување)
晶粒大小 / Големина на жито	2 ~ 10 μm
纯度 / Хемиска чистота	99,99995%
热容 / Топлински капацитет	640 J·kg^-1· К^-1
升华温度 / Температура на сублимација	2700 ℃
抗弯强度 / Флексурална јачина	415 MPa RT 4-точка
杨氏模量 / Модул на Јанг	430 Gpa 4pt кривина, 1300℃
导热系数 / ТермалСпроводливост	300 W·m^-1· К^-1
热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1