Графитна подлога за полупроводник обложена со силициум карбид, MOCVD сусцептор

Графитна подлога за полупроводник обложена со силициум карбид, истакната слика на MOCVD сусцептор

Краток опис:

VET Energy SiC Coated Susceptor е производ со високи перформанси дизајниран да обезбеди постојани и сигурни перформанси во подолг период. Има супер добра отпорност на топлина и топлинска униформност, висока чистота, отпорност на ерозија, што го прави совршено решение за апликации за обработка на нафора.

Место на потекло:Жеџијанг, Кина (континентална)

Број на модел:Број на модел:

Хемиски состав:Графит обложен со SiC

Јачина на свиткување:470 MPa

Топлинска спроводливост:300 W/mK

Квалитет:Совршено

Функција:CVD-SiC

Апликација:Полупроводник /Фотоволтаик

Густина:3,21 g/cc

Термичка експанзија:4 10-6/К

Пепел: <5 стр./мин

Примерок:Достапно

HS код:6903100000

Испратете ни е-пошта Преземете како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

ВЕТ енергија обложена со SiC сусцепторе решение со високи перформанси прецизно изработено за да обезбеди сигурни, конзистентни перформанси низ подолг животен век, исполнувајќи ги ригорозните барања на производството на полупроводници. Одликувајќи се со исклучителна отпорност на топлина, супериорна топлинска униформност и висока чистота, овој производ е идеален за MOCVD носачи на нафора и други апликации за обработка на обланди кои бараат стабилност и прецизност. Неговата робусна отпорност на ерозија го прави врвен избор за средини каде издржливоста и хемиската еластичност се неопходни.

НашиотSiC обложен графит сусцепторстои како критична компонента во процесот на производство на полупроводници, користејќи ја ексклузивната патентирана технологија на VET Energy за да постигне исклучително висока чистота, супериорна униформност на облогата и извонредна термичка стабилност. Облогата ја подобрува графитната подлога со висока хемиска отпорност и значително продолжен работен век. Посветеноста на VET Energy на квалитетот резултираше со SiC-обложена чувствителност која ги задоволува новите потреби на пазарот на носачи на графитни обланди, поставувајќи висок стандард за чувствителни графитни обложени со SiC кои се користат воMOCVD процеси.

Клучни карактеристики на сенцепторите обложени со SiC:

1. Отпорност на оксидација на висока температура:Издржи температури до 1700℃, што го прави погоден за екстремни услови за обработка.

2. Висока чистота и топлинска униформност:Обезбедува постојани резултати, од витално значење заMOCVD чувствителнии други прецизни апликации.

3. Одлична отпорност на корозија:Отпорен на киселина, алкали, сол и разни органски реагенси.

4. Зголемена цврстина на површината:Компактна површина со фини честички кои обезбедуваат поголема издржливост и долговечност.

5. Продолжен работен век:Дизајниран за одржливи перформанси, надминувајќи ги стандардните сензори обложени со силициум карбид во сурови средини за обработка.

Како водечки производител, VET Energy е специјализирана за прилагоден графит ипроизводи од силициум карбидсо различни опции за обложување, вклучувајќиSiC облога, TaC облога, стаклен јаглероден слој, и пиролитички јаглероден слој. Со гордост ги опслужуваме полупроводничките и фотоволтаичните индустрии, испорачувајќи графитни чувствителни обложени силициум карбид кои задоволуваат специфични оперативни барања.

Нашиот технички тим, со искуство од врвни домашни истражувачки институции, е посветен на унапредување на материјалните решенија за потребите на развојот наГрафитен чувствител обложен со SiCпазар. Преку нашиот патентиран процес, VET Energy разви уникатна технологија која значително ја подобрува цврстината на врската помеѓу облогата од силициум карбид и подлогата, намалувајќи го ризикот од откачување и зголемувајќи ја долгорочната сигурност.

Примени и предности во полупроводничка обработка

НаSiC облога за MOCVDовозможуваграфитен сусцепторкомпоненти за одржување на интегритетот при високи температури и корозивни средини, што е од витално значење за прецизното производство на полупроводници. Овие графитни компоненти обложени со SiC се особено ценети во процесите кои бараат чувствителни обложени со силициум карбид заграфитни носачи на обланди, кои бараат висока термичка стабилност, чистота и отпорност на хемиска ерозија.

Со нашите напредни техники за обложување со силициум карбид, VET Energy продолжува да го поддржува пазарот на носачи на графитни обланди со доставување приспособени, со високи перформансиГрафитни сензори обложени со SiCкои се однесуваат на предизвиците специфични за индустријата, од MOCVD процеси до апликации со висока чистота во полето на полупроводници.