Како да исчистите чамец од графит PECVD?| ВЕТ енергија

1. Потврда пред чистење

1) Кога наГрафитен брод PECVD/носачот се користи повеќе од 100 до 150 пати, операторот треба навреме да ја провери состојбата на облогата. Ако има ненормален слој, треба да се исчисти и потврди. Нормалната боја на облогата на силиконската обланда во графитниот брод/носачот е сина. Ако обландата има несина, повеќе бои, или разликата во бојата меѓу обландите е голема, тоа е ненормална обвивка, а причината за абнормалноста треба навреме да се потврди.
2) По процесот, персоналот ја анализира состојбата на облогата наГрафитен брод PECVD/превозник, ќе утврдат дали графитниот чамец треба да се исчисти и дали треба да се замени точката на картичката, а графитниот брод/носачот што треба да се исчисти ќе биде предаден на чистење на персоналот на опремата.

 

3) Пографитен брод/носачот е оштетен, производствениот персонал ќе ги извади сите силиконски наполитанки во графитниот чамец и ќе користи CDA (компресиран воздух) за да ги сортира фрагментите вографитен брод. По завршувањето, персоналот на опремата ќе го подигне во резервоарот за киселина што е подготвен со одредена пропорција на HF раствор за чистење.

 

2. Чистење на брод од графит

Се препорачува да се користи 15-25% раствор на флуороводородна киселина за три круга на чистење, секој по 4-5 часа, и периодично клокотот на азот за време на процесот на натопување и чистење, додавајќи околу половина час чистење; забелешка: не се препорачува директно користење на воздухот како извор на гас за клокотот. По мариноването, исплакнете со чиста вода околу 10 часа и потврдете дека чамецот е темелно исчистен. По чистењето, ве молиме проверете ја површината на чамецот, точката на графитната картичка и спојката на листот на бродот и другите делови за да видите дали има остатоци од силициум нитрид. Потоа исушете според барањата.

3. Мерки на претпазливост при чистење

А) Бидејќи HF киселината е многу корозивна супстанција и има одредена испарливост, таа е опасна за операторите. Затоа, операторите на местото за чистење мора да преземаат безбедносни мерки на претпазливост и да бидат управувани од посветено лице.

Б) Се препорачува да се расклопи чамецот и да се исчисти само графитниот дел за време на чистењето, така што секој контактен дел може да се исчисти потемелно. Во моментов, многу домашни производители користат целокупно чистење, што е погодно, но бидејќи HF киселината е корозивна за керамичките делови, целокупното чистење ќе го скрати работниот век на соодветните делови.