SiC 코팅 흑연 하프문 부품is a 열쇠반도체 제조 공정, 특히 SiC 에피택셜 장비에 사용되는 부품입니다.우리는 특허 기술을 사용하여 반달 부분을 만듭니다.순도가 매우 높고,좋은코팅일률그리고 우수한 서비스 수명, 게다가높은 내화학성과 열 안정성 특성.
VET에너지는 그만큼CVD 코팅을 적용한 맞춤형 흑연 및 탄화 규소 제품의 실제 제조업체,공급할 수 있다다양한반도체 및 태양광 산업을 위한 맞춤형 부품입니다. O귀하의 기술팀은 국내 최고의 연구 기관 출신이므로 보다 전문적인 재료 솔루션을 제공할 수 있습니다.당신을 위한.
보다 진보된 소재를 제공하기 위해 지속적으로 첨단 프로세스를 개발하고,그리고코팅과 기판 사이의 결합을 더 단단하게 만들고 분리 가능성을 줄일 수 있는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.
F우리 제품의 특징:
1. 최대 1700도의 고온 내산화성℃.
2. 고순도 및열 균일성
3. 우수한 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.
4. 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.
5. 수명이 길어지고 내구성이 향상됩니다.
| CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 대표값 |
| 晶体结构 / 결정구조 | FCC β상多晶，主要为（111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21g/cm³ |
| 정도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 입자 크기 | 2~10μm |
| 정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 / 승화온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 / 굴곡강도 | 415MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃ |
| 导熭系数 / 써마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
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