PECVD 흑연 보트를 청소하는 방법은 무엇입니까?| VET 에너지

1. 청소 전 확인

1)PECVD 흑연 보트/carrier는 100~150회 이상 사용되므로 작업자는 제때에 코팅 상태를 확인해야 합니다. 비정상적인 코팅이 있는 경우 청소하고 확인해야 합니다. 흑연 보트/캐리어의 실리콘 웨이퍼의 일반적인 코팅 색상은 파란색입니다. 웨이퍼가 파란색이 아니거나 색상이 여러 가지이거나 웨이퍼 간 색상 차이가 큰 경우 코팅 불량으로, 이상 원인을 적시에 확인해야 합니다.
2) 공정 담당자가 코팅 상태를 분석한 후PECVD 흑연 보트/캐리어를 통해 그라파이트 보트 청소가 필요한지, 카드 포인트 교체가 필요한지 여부를 결정하고, 청소가 필요한 그라파이트 보트/캐리어는 청소를 위해 장비 담당자에게 인계됩니다.

 

3) 이후흑연 보트/캐리어가 손상되면 생산 인력이 흑연 보트에 있는 모든 실리콘 웨이퍼를 꺼내고 CDA(압축 공기)를 사용하여 보트의 조각을 분류합니다.흑연 보트. 완료 후 장비 담당자는 일정 비율의 HF 용액이 준비된 산성 탱크로 들어 올려 청소합니다.

 

2. 흑연 보트 청소

15~25% 불화수소산 용액을 사용하여 3회 세척(각각 4~5시간)을 사용하고 담그고 세척하는 동안 주기적으로 질소를 버블링하여 약 30분의 세척 시간을 추가하는 것이 좋습니다. 참고: 버블링을 위한 가스 공급원으로 공기를 직접 사용하는 것은 권장되지 않습니다. 산세 후 깨끗한 물로 약 10시간 동안 헹구고 보트가 깨끗이 청소되었는지 확인합니다. 청소 후에는 보트 표면, 그래파이트 카드 포인트, 보트 시트 조인트 등 기타 부품에 질화규소 잔여물이 있는지 확인하시기 바랍니다. 그런 다음 요구 사항에 따라 건조하십시오.

3. 청소상의 주의사항

A) 불산은 부식성이 강한 물질로 일정 정도의 휘발성을 가지고 있어 작업자에게 위험합니다. 따라서 청소소의 작업자는 안전 예방 조치를 취하고 전담 인력이 관리해야 합니다.

나) 보트를 분해하고 청소 시 흑연 부분만 청소하는 것이 각 접촉 부분을 더욱 철저하게 청소할 수 있도록 하는 것이 좋습니다. 현재 많은 국내 제조업체에서는 편리한 전체 세척을 사용하고 있지만 HF 산은 세라믹 부품을 부식시키기 때문에 전체 세척은 해당 부품의 수명을 단축시킵니다.