그만큼CVD TaC 코팅vet-china의 플레이트 서셉터는 화학 기상 증착(CVD) 공정에서 고성능을 위해 설계되었습니다. 이 서셉터는 견고한 기능을 갖추고 있습니다.TaC(탄탈륨 카바이드) 코팅, 탁월한 열 안정성, 내화학성 및 내구성을 제공하여 반도체 제조 및 고온 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 그만큼CVD TaC 코팅산화 및 마모에 대한 탁월한 저항성을 보장하여 서셉터가 열악한 환경에서도 무결성과 기능을 유지할 수 있도록 합니다.
수의사CVD TaC 코팅Plate Susceptor는 CVD 공정 중에 열을 고르게 분산시켜 정확한 층 증착을 보장하고 반도체 제조 효율성을 향상시키는 능력이 뛰어납니다. Ta-C 코팅은 화학적 부식에 대한 추가적인 보호 기능을 제공하여 서셉터의 수명을 연장하고 전반적인 성능을 향상시킵니다. 고급 CVD 서셉터 기술과 고품질 TaC 화학 코팅이 결합된 이 서셉터는 고온 환경에서 정밀도와 신뢰성이 요구되는 산업의 핵심 구성 요소입니다.
반도체 생산이나 기타 첨단 기술 응용 분야에 사용되더라도CVD TaC 코팅 플레이트 서셉터현대 제조 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 혁신과 품질에 대한 Semicera의 명성을 뒷받침하는 이 제품은 뛰어난 성능과 오래 지속되는 내구성을 제공하므로 CVD 공정에서 신뢰할 수 있는 선택입니다.
TaC 코팅은 물리적 기상 증착 기술로 제조된 일종의 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅으로 다음과 같은 특징이 있습니다.
1. 높은 경도: TaC 코팅 경도가 높고 일반적으로 2500-3000HV에 도달할 수 있으며 우수한 하드 코팅입니다.
2. 내마모성 : TaC 코팅은 내마모성이 매우 뛰어나 사용 중 기계 부품의 마모 및 손상을 효과적으로 줄일 수 있습니다.
3. 우수한 내열성 : TaC 코팅은 고온 환경에서도 우수한 성능을 유지할 수 있습니다.
4. 우수한 화학적 안정성: TaC 코팅은 우수한 화학적 안정성을 가지며 산 및 염기와 같은 많은 화학 반응에 저항할 수 있습니다.
| 碳化钽涂层물리特性식물리특성 물리적 특성 TaC 코팅 | |
| 크기/ 밀도 | 14.3(g/cm3) |
| 比辐射率 / 비방사율 | 0.3 |
| 热膨胀系数 / 열팽창계수 | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬도/ 경도(홍콩) | 2000홍콩 |
| 电阻 / 저항 | 1×10-5 옴*cm |
| 발열결정성 / 열안정성 | <2500℃ |
| 석재尺寸变化 / 흑연 크기 변경 | -10~-20um |
| 涂层厚도 / 코팅두께 | ≥20um 일반 값(35um±10um) |
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