반도체용 탄화규소 코팅 흑연 기판/캐리어

VET Energy SiC 코팅 흑연 서셉터는 장기간에 걸쳐 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다. 매우 우수한 내열성과 열 균일성, 고순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 솔루션입니다.

원산지:저장성, 중국 (본토)

모델 번호:보트3004

화학 성분:SiC 코팅 흑연

굴곡강도:470Mpa

열전도율:300W/mK

품질:완벽한

기능:CVD-SiC

애플리케이션:반도체/태양광

밀도:3.21g/cc

열팽창:4 10-6/K

금연 건강 증진 협회: <5ppm

견본:유효한

HS 코드:6903100000

제품 세부정보

SiC 코팅 흑연 서셉터는 다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 핵심 부품입니다. 우리는 특허 기술을 사용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성, 우수한 서비스 수명은 물론 높은 내화학성과 열 안정성 특성을 갖춘 서셉터를 만듭니다.

우리 제품의 특징:

1. 최대 1700℃의 고온 내산화성.
2. 고순도 및 열균일성
3. 우수한 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.
4. 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.
5. 수명이 길어지고 내구성이 향상됩니다.

CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅
성별 / 재산	典型数值 / 대표값
晶体结构 / 결정구조	FCC β상多晶，主要为（111) 取向
크기 / 밀도	3.21g/cm³
정도 / 경도	2500 维氏硬도(500g 부하)
晶粒大小 / 입자 크기	2~10μm
정도 / 화학적 순도	99.99995%
발열 / 열용량	640J·kg^-1·케이^-1
升华温도 / 승화온도	2700℃
抗弯强島 / 굴곡강도	415MPa RT 4점
杨氏模량 / 영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
导熭系数 / 써마엘전도도	300W·m^-1·케이^-1
热膨胀系数 / 열팽창(CTE)	4.5×10^-6K^-1