VET Energy SiC 코팅 서셉터는 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족하면서 연장된 수명 동안 안정적이고 일관된 성능을 제공하도록 세심하게 제작된 고성능 솔루션입니다. 탁월한 내열성, 우수한 열 균일성 및 고순도를 특징으로 하는 이 제품은 안정성과 정밀도가 요구되는 MOCVD 웨이퍼 캐리어 및 기타 웨이퍼 처리 응용 분야에 이상적입니다. 견고한 내식성 덕분에 내구성과 화학적 복원력이 필수적인 환경에 탁월한 선택이 됩니다.
우리의SiC 코팅 흑연 서셉터VET Energy의 독점 특허 기술을 활용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성 및 놀라운 열 안정성을 달성하는 반도체 제조 공정의 중요한 구성 요소입니다. 코팅은 높은 내화학성과 상당히 연장된 서비스 수명으로 흑연 기질을 강화합니다. VET Energy의 품질에 대한 헌신으로 흑연 웨이퍼 캐리어 시장의 진화하는 요구 사항을 충족하는 SiC 코팅 서셉터가 탄생했으며,MOCVD 공정.
SiC 코팅 서셉터의 주요 특징:
1. 고온 산화 저항:최대 1700℃의 온도를 견딜 수 있어 극한의 가공 조건에 적합합니다.
2. 높은 순도와 열 균일성:일관된 결과를 보장합니다.MOCVD 서셉터및 기타 정밀 응용 분야.
3. 우수한 내식성 :산, 알칼리, 염분 및 다양한 유기 시약에 대한 복원력이 뛰어납니다.
4. 향상된 표면 경도:더 높은 내구성과 수명을 제공하는 미세한 입자로 컴팩트한 표면.
5. 서비스 수명 연장:지속적인 성능을 위해 설계되어 열악한 처리 환경에서 표준 탄화규소 코팅 서셉터보다 뛰어난 성능을 발휘합니다.
VET Energy는 선도적인 제조업체로서 맞춤형 흑연 및탄화규소 제품다음을 포함한 다양한 코팅 옵션이 있습니다.SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅및 열분해 탄소 코팅. 우리는 특정 운영 요구 사항을 충족하는 탄화 규소 코팅 흑연 서셉터를 제공함으로써 반도체 및 광전지 산업에 자랑스럽게 서비스를 제공합니다.
국내 최고의 연구 기관의 경험을 보유한 당사의 기술 팀은 진화하는 요구 사항에 맞는 소재 솔루션 발전에 전념하고 있습니다.SiC 코팅 흑연 서셉터시장. VET 에너지는 특허 프로세스를 통해 탄화규소 코팅과 기판 사이의 결합 강도를 크게 향상시켜 분리 위험을 줄이고 장기적인 신뢰성을 향상시키는 고유한 기술을 개발했습니다.
반도체 공정의 응용 및 장점
그만큼MOCVD용 SiC 코팅가능하게 한다흑연 서셉터정밀 반도체 생산에 필수적인 고온 및 부식 환경에서 무결성을 유지하는 부품입니다. 이러한 SiC 코팅 흑연 구성요소는 탄화규소 코팅 서셉터가 필요한 공정에서 특히 중요합니다.흑연 웨이퍼 캐리어높은 열 안정성, 순도 및 화학적 침식에 대한 저항성을 요구합니다.
VET 에너지는 첨단 탄화규소 코팅 기술을 통해 맞춤형 고성능을 제공함으로써 흑연 웨이퍼 캐리어 시장을 지속적으로 지원하고 있습니다.SiC 코팅 흑연 서셉터MOCVD 공정부터 반도체 분야의 고순도 응용 분야까지 산업별 과제를 해결합니다.