G5 G10용 TaC 코팅 웨이퍼 서셉터

간단한 설명:

Semicera는 끊임없이 강화되는 반도체 공정 요구 사항을 충족하기 위해 혁신적인 탄탈륨 카바이드(TaC) 제품 라인으로 반도체 산업을 선도하고 있습니다.섭씨 2000도를 초과하는 에피택셜 공정 온도 또는 기존 재료의 승화 문제에 직면하더라도 당사의 CvD 탄탈륨 카바이드(TaC)는 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다.당사의 제품은 최대 섭씨 2300도의 극한 온도를 견딜 수 있으며 탁월한 서비스 수명을 제공합니다.Semicera에 문의하시면 탄탈륨 카바이드 코팅 커버 플레이트에 대한 맞춤형 옵션을 포함한 고급 솔루션에 대해 자세히 알아볼 수 있습니다.우리는 귀하가 경쟁이 치열한 시장에서 성공할 수 있도록 귀하의 반도체 프로세스에 대한 안정적인 보호와 탁월한 성능을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.


제품 상세 정보

제품 태그

TaC 코팅은 물리적 기상 증착 기술로 준비된 일종의 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅으로 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.

1. 높은 경도: TaC 코팅 경도가 높고 일반적으로 2500-3000HV에 도달할 수 있으며 우수한 하드 코팅입니다.

2. 내마모성 : TaC 코팅은 내마모성이 매우 뛰어나 사용 중 기계 부품의 마모 및 손상을 효과적으로 줄일 수 있습니다.

3. 우수한 내열성 : TaC 코팅은 고온 환경에서도 우수한 성능을 유지할 수 있습니다.

4. 우수한 화학적 안정성: TaC 코팅은 우수한 화학적 안정성을 가지며 산 및 염기와 같은 많은 화학 반응에 저항할 수 있습니다.

TaC코팅16
6 (1)

碳化钽涂层물리特性식물리특성

물리적 특성 TaC 코팅

크기/ 밀도

14.3(g/cm3)

比辐射率 / 비방사율

0.3

热膨胀系数 / 열팽창계수

6.3 10-6/K

努氏硬도/ 경도(홍콩)

2000홍콩

电阻 / 저항

1×10-5 옴*cm

발열결정성 / 열안정성

<2500℃

석재尺寸变化 / 흑연 크기 변경

-10~-20um

涂层厚도 / 코팅 두께

≥20um 일반 값(35um±10um)

 

닝보 VET 에너지 기술 유한 회사는 흑연, 탄화 규소, 세라믹, 표면 처리 등을 다루는 고급 첨단 재료, 재료 및 기술의 생산 및 판매에 중점을 둔 하이테크 기업입니다.이 제품은 광전지, 반도체, 신에너지, 야금 등 분야에서 널리 사용됩니다.

우리 기술팀은 국내 최고의 연구 기관에서 왔으며 보다 전문적인 재료 솔루션을 제공할 수 있습니다.

우리 공장 방문을 따뜻하게 환영합니다. 추가 논의를 합시다!

研发团队

生产设备

공사客户

 


  • 이전의:
  • 다음:

  • WhatsApp 온라인 채팅!