실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이 플레이트 및 커버

간단한 설명:

VET Energy 실리콘 카바이드 코팅 흑연 플레이트 및 커버는 장기간에 걸쳐 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다. 매우 우수한 내열성과 열 균일성, 고순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 솔루션입니다.

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제품 세부정보

제품 태그

VET 에너지실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이, 플레이트 및 커버는 최고 수준의 성능을 제공하도록 설계되어 장기간 사용에도 안정적이고 일관된 작동을 제공하므로 반도체 산업의 웨이퍼 처리 응용 분야에 필수적인 선택입니다. 이 고성능실리콘 카바이드 코팅 흑연 플레이트특히 고온 조건에서 뛰어난 내열성, 뛰어난 열 균일성, 탁월한 화학적 안정성을 자랑합니다. 고급 내식성과 결합된 고순도 구조는 다음과 같은 까다로운 환경에 필수 불가결합니다.MOCVD 서셉터.

실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이, 플레이트, 커버의 주요 특징

1. 고온 산화 저항:최대 1700℃의 온도를 견딜 수 있어 극한의 조건에서도 안정적으로 작동할 수 있습니다.

2. 높은 순도와 열 균일성:MOCVD 응용 분야에서는 일관된 고순도와 균일한 열 분포가 중요합니다.

3. 뛰어난 내식성:산, 알칼리, 염분 및 다양한 유기 시약에 대한 내성이 있어 다양한 환경에서 장기적인 안정성을 보장합니다.

4. 높은 경도와 조밀한 표면:미세한 입자로 조밀한 표면을 특징으로 하여 전반적인 내구성과 내마모성을 향상시킵니다.

5. 서비스 수명 연장:오랜 수명을 위해 설계되었으며 기존 제품보다 성능이 뛰어납니다.실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터가혹한 반도체 공정 환경에서

CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅
성별 / 재산	典型数值 / 대표값
晶体结构 / 결정구조	FCC β상多晶，主要为（111) 取向
크기 / 밀도	3.21g/cm³
정도 / 경도	2500 维氏硬도(500g 부하)
晶粒大小 / 입자 크기	2~10μm
정도 / 화학적 순도	99.99995%
발열 / 열용량	640J·kg^-1·케이^-1
升华温도 / 승화온도	2700℃
抗弯强島 / 굴곡강도	415MPa RT 4점
杨氏模량 / 영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
导熭系数 / 써마엘전도도	300W·m^-1·케이^-1
热膨胀系数 / 열팽창(CTE)	4.5×10^-6K^-1

맞춤형 흑연 및 탄화규소 솔루션에 대한 VET Energy의 전문성

신뢰할 수 있는 제조업체인 VET Energy는 맞춤 설계된 흑연 서셉터 및 탄화규소 코팅 솔루션을 전문으로 합니다. 우리는 다음을 포함하여 반도체 및 태양광 산업에 맞춘 다양한 제품을 제공합니다.SiC 코팅 흑연 부품트레이, 접시, 커버 같은 것 말이죠. 당사의 제품 라인업에는 다음과 같은 다양한 코팅 옵션도 포함됩니다.MOCVD용 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅및 열분해 탄소 코팅을 통해 첨단 산업의 다양한 요구 사항을 충족합니다.

국내 최고의 연구 기관의 전문가로 구성된 숙련된 기술 팀은 고객에게 포괄적인 재료 솔루션을 제공합니다. 우리는 실리콘 카바이드 코팅과 흑연 기판 사이의 접착력을 향상시켜 분리 위험을 줄이고 제품 수명을 더욱 연장하는 독점 특허 기술을 포함하여 첨단 공정을 지속적으로 개선하고 있습니다.

반도체 제조의 응용 및 이점

그만큼MOCVD용 실리콘 카바이드 코팅이러한 흑연 서셉터는 고온, 부식성 환경에서 매우 효과적입니다. 흑연 웨이퍼 캐리어 또는 기타 MOCVD 부품으로 사용되는 탄화규소 코팅 서셉터는 뛰어난 내구성과 성능을 보여줍니다. 신뢰할 수 있는 솔루션을 찾는 분들을 위해SiC 코팅 흑연 서셉터시장에서 VET Energy의 탄화규소 코팅 흑연 트레이, 플레이트 및 커버는 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하는 견고하고 다양한 옵션을 제공합니다.

VET 에너지는 첨단 재료 과학에 중점을 두어 반도체 공정의 혁신을 주도하고 모든 MOCVD 관련 응용 분야에서 안정적인 성능을 보장하는 고성능 SiC 코팅 흑연 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.