SiC 코팅 흑연 MOCVD 웨이퍼 캐리어 서셉터

에피택셜 성장을 위한 VET Energy SiC 코팅 MOCVD 서셉터는 장기간에 걸쳐 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다. 매우 우수한 내열성과 열 균일성, 고순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 솔루션입니다.

제품 세부정보

SiC 코팅 흑연 MOCVD 웨이퍼 캐리어/서셉터

모든 서셉터는 고강도 등방성 흑연으로 만들어졌습니다. 에피택시, 결정 성장, 이온 주입 및 플라즈마 에칭과 같은 까다로운 공정은 물론 LED 칩 생산을 위해 특별히 개발된 고순도 흑연의 이점을 누리십시오.

우리 제품의 특징:

1. 최대 1700℃의 고온 내산화성.
2. 고순도 및 열균일성
3. 우수한 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.
4. 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.
5. 수명이 길어지고 내구성이 향상됩니다.

CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅
성별 / 재산	典型数值 / 대표값
晶体结构 / 결정구조	FCC β상多晶，主要为（111) 取向
크기 / 밀도	3.21g/cm³
정도 / 경도	2500 维氏硬도(500g 부하)
晶粒大小 / 입자 크기	2~10μm
정도 / 화학적 순도	99.99995%
발열 / 열용량	640J·kg^-1·케이^-1
升华温도 / 승화온도	2700℃
抗弯强島 / 굴곡강도	415MPa RT 4점
杨氏模량 / 영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
导熭系数 / 써마엘전도도	300W·m^-1·케이^-1
热膨胀系数 / 열팽창(CTE)	4.5×10^-6K^-1