VET Energy의 8인치 P형 실리콘 웨이퍼는 태양전지, MEMS 장치 및 집적 회로를 포함한 광범위한 반도체 응용 분야용으로 설계된 고성능 실리콘 웨이퍼입니다. 탁월한 전기 전도성과 일관된 성능으로 잘 알려진 이 웨이퍼는 안정적이고 효율적인 전자 부품을 생산하려는 제조업체가 선호하는 선택입니다. VET Energy는 최적의 장치 제조를 위해 정확한 도핑 수준과 고품질 표면 마감을 보장합니다.
이 8인치 P형 실리콘 웨이퍼는 SiC 기판, SOI 웨이퍼, SiN 기판과 같은 다양한 재료와 완벽하게 호환되며 Epi 웨이퍼 성장에 적합하여 고급 반도체 제조 공정의 다양성을 보장합니다. 웨이퍼는 또한 산화 갈륨 Ga2O3 및 AlN 웨이퍼와 같은 다른 첨단 소재와 함께 사용할 수 있어 차세대 전자 응용 분야에 이상적입니다. 견고한 디자인은 카세트 기반 시스템에도 완벽하게 들어맞아 효율적인 대량 생산 처리를 보장합니다.
VET Energy는 고객에게 맞춤형 웨이퍼 솔루션을 제공합니다. 우리는 고객의 특정 요구에 따라 다양한 저항률, 산소 함량, 두께 등을 가진 웨이퍼를 맞춤화할 수 있습니다. 또한 고객이 생산 과정에서 직면하는 다양한 문제를 해결할 수 있도록 전문적인 기술 지원 및 애프터 서비스도 제공합니다.
웨이퍼링 사양
*n-Pm=n형 Pm-등급,n-Ps=n형 Ps-등급,Sl=반절연
| 목 | 8인치 | 6인치 | 4인치 | ||
| nP | n-Pm | n-P | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| 활(GF3YFCD)-절대값 | 15μm 이하 | 15μm 이하 | ≤25μm | 15μm 이하 | |
| 워프(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
| 웨이퍼 에지 | 베벨링 | ||||
표면 마감
*n-Pm=n형 Pm-등급,n-Ps=n형 Ps-등급,Sl=반절연
| 목 | 8인치 | 6인치 | 4인치 | ||
| nP | n-Pm | n-P | SI | SI | |
| 표면 마감 | 양면 광학 광택제, Si- Face CMP | ||||
| 표면 거칠기 | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-페이스 Ra≤0.2nm | |||
| 엣지 칩 | 없음 허용됨(길이 및 너비≥0.5mm) | ||||
| 들여쓰기 | 허용되지 않음 | ||||
| 스크래치(Si-Face) | 수량 ≤5, 누적 | 수량 ≤5, 누적 | 수량 ≤5, 누적 | ||
| 균열 | 허용되지 않음 | ||||
| 가장자리 제외 | 3mm | ||||
