Durevole pala per la movimentazione dei wafer in carburo di silicio

Breve descrizione:

vet-china fornisce un'eccellente pala per la movimentazione dei wafer in carburo di silicio durevole, che combina prestazioni elevate e design innovativo per garantire una movimentazione dei wafer efficiente e sicura. Con la sua durata e precisione, la pala per la movimentazione dei wafer di silicio e carbonio di Vet-China è uno strumento indispensabile nel processo di produzione di semiconduttori, migliorando l'efficienza produttiva e riducendo il rischio di detriti.


Dettagli del prodotto

Tag dei prodotti

vet-china garantisce che ogni bene durevolePaletta per la movimentazione dei wafer in carburo di silicioha prestazioni e durata eccellenti. Questa pala per la movimentazione dei wafer in carburo di silicio utilizza processi di produzione avanzati per garantire che la sua stabilità strutturale e funzionalità rimangano in ambienti ad alta temperatura e corrosione chimica. Questo design innovativo fornisce un eccellente supporto per la gestione dei wafer semiconduttori, in particolare per le operazioni automatizzate ad alta precisione.

Pagaia a sbalzo SiCè un componente specializzato utilizzato in apparecchiature per la produzione di semiconduttori come forni di ossidazione, forni di diffusione e forni di ricottura, l'uso principale è per il carico e lo scarico dei wafer, supporta e trasporta i wafer durante i processi ad alta temperatura.

Strutture comuniDiSiCcantilevapsbadiglio: una struttura a sbalzo, fissata a un'estremità e libera all'altra, ha tipicamente un design piatto e simile a una pagaia.

LavorandopprincipioDiSiCcantilevapsbadiglio:

La pala a sbalzo può muoversi su e giù o avanti e indietro all'interno della camera del forno e può essere utilizzata per spostare i wafer dalle aree di caricamento alle aree di lavorazione o fuori dalle aree di lavorazione, supportando e stabilizzando i wafer durante la lavorazione ad alta temperatura.

Proprietà fisiche del carburo di silicio ricristallizzato

Proprietà

Valore tipico

Temperatura di lavoro (°C)

1600°C (con ossigeno), 1700°C (ambiente riducente)

Contenuto di SiC

> 99,96%

Contenuti Si gratuiti

<0,1%

Densità apparente

2,60-2,70 g/cm3

Porosità apparente

< 16%

Resistenza alla compressione

> 600MPa

Resistenza alla flessione a freddo

80-90MPa (20°C)

Resistenza alla flessione a caldo

90-100MPa (1400°C)

Dilatazione termica @1500°C

4,7010-6/°C

Conduttività termica @1200°C

23 W/m·K

Modulo elastico

240 GPa

Resistenza agli shock termici

Estremamente buono

Pagaia a sbalzo9
Pagaia a sbalzo8
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Precedente:
  • Prossimo:

  • Chatta in linea di WhatsApp!