Vassoio per fogli epitassiali rivestito in carburo di silicio utilizzato nelle apparecchiature per forni epitassiali

Breve descrizione:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. è un'impresa high-tech con sede in Cina, siamo una fornitura professionale Vassoio per fogli epitassiali rivestito in carburo di silicio utilizzato nelle apparecchiature per forni epitassiali aproduttore e fornitore. ci stiamo concentrando sulla nuova tecnologia dei materiali e sui prodotti automobilistici.


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La nostra azienda fornisce servizi di processo di rivestimento SiC con metodo CVD sulla superficie di grafite, ceramica e altri materiali, in modo che gas speciali contenenti carbonio e silicio reagiscano ad alta temperatura per ottenere molecole SiC di elevata purezza, molecole depositate sulla superficie dei materiali rivestiti, formando lo strato protettivo SIC.

Caratteristiche principali:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura:

la resistenza all'ossidazione è ancora molto buona anche quando la temperatura arriva fino a 1600 C.

2. Elevata purezza: prodotto mediante deposizione di vapori chimici in condizioni di clorazione ad alta temperatura.

3. Resistenza all'erosione: elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.

4. Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC:

Proprietà SiC-CVD

Struttura di cristallo Fase β dell'FCC
Densità g/cm³ 3.21
Durezza Durezza Vickers 2500
Granulometria µm 2~10
Purezza chimica % 99.99995
Capacità termica J·kg-1·K-1 640
Temperatura di sublimazione 2700
Forza flessionale MPa (RT 4 punti) 415
Modulo di Young Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃) 430
Dilatazione Termica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conduttività termica (W/mK) 300

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