Suscettore a barilotto per epitassia in fase liquida LPE

Suscettore a cilindro per epitassia in fase liquida LPE

EPI (Epitassia)è un processo critico nella produzione di semiconduttori avanzati. Implica la deposizione di sottili strati di materiale su un substrato per creare strutture di dispositivi complessi. I suscettori a cilindro in grafite rivestiti in SiC per EPI sono comunemente usati come suscettori nei reattori EPI grazie alla loro eccellente conduttività termica e resistenza alle alte temperature. ConRivestimento CVD-SiC, diventa più resistente alla contaminazione, all'erosione e allo shock termico. Ciò si traduce in una maggiore durata del suscettore e in una migliore qualità della pellicola.

Vantaggi del nostro suscettore a cilindro per l'epitassia in fase liquida LPE:
Contaminazione ridotta:La natura inerte del SiC impedisce alle impurità di aderire alla superficie del suscettore, riducendo il rischio di contaminazione dei film depositati.
Maggiore resistenza all'erosione:Il SiC è significativamente più resistente all'erosione rispetto alla grafite convenzionale, garantendo una maggiore durata del suscettore.
Stabilità termica migliorata:Il SiC ha un'eccellente conduttività termica e può resistere alle alte temperature senza distorsioni significative.
Qualità della pellicola migliorata:La migliore stabilità termica e la ridotta contaminazione si traducono in film depositati di qualità superiore con migliore uniformità e controllo dello spessore.