Suscettore a barilotto epitassiale in grafite Epi

Suscettore a barilotto epitassiale in grafite Epi

Suscettore a barilotto epitassiale in grafite Epiè un dispositivo di supporto e riscaldamento appositamente progettato utilizzato per trattenere e riscaldare substrati semiconduttori durante processi di produzione come i processi di deposizione o epitassia.

La sua struttura prevede tipicamente la forma cilindrica o leggermente a botte, la superficie presenta molteplici tasche o piattaforme per posizionare i wafer, può essere solida o cava, a seconda del metodo di riscaldamento.

Le principali funzioni del suscettore a barilotto epitassiale:

-Supporto del substrato: tiene saldamente più wafer semiconduttori;
-Fonte di calore: fornisce le alte temperature necessarie per la crescita attraverso il riscaldamento;
-Uniformità della temperatura: garantisce un riscaldamento uniforme dei substrati;
-Rotazione: solitamente ruota durante la crescita per migliorare l'uniformità della temperatura e della distribuzione del gas.

Principio di funzionamento del suscettore a barilotto in grafite Epi:
- Nel reattore epitassiale, il suscettore del cilindro viene riscaldato alla temperatura richiesta (tipicamente 1000℃-1200℃ per l'epitassia al silicio);
-Il suscettore della canna ruota per garantire una distribuzione uniforme della temperatura e del flusso di gas;
-I gas di reazione si decompongono ad alte temperature, formando strati epitassiali sulla superficie del substrato.

Applicazioni:
-Utilizzato principalmente per la crescita epitassiale del silicio
-Applicabile anche per l'epitassia di altri materiali semiconduttori come GaAs, InP, ecc.

VET Energy utilizza grafite ad elevata purezza con rivestimento CVD-SiC per migliorare la stabilità chimica:

I vantaggi del suscettore a barilotto epitassiale Epi in grafite VET Energy:

-Stabilità alle alte temperature;
-Buona uniformità termica;
-Può elaborare più substrati contemporaneamente, migliorando l'efficienza produttiva;
-Chimicamente inerte, mantenendo un ambiente di crescita ad elevata purezza.