A vet-china bemutatja az innovatív Vertical Column Wafer Boat & Talapzatot, amely egy átfogó megoldás a fejlett félvezető-feldolgozáshoz. Az aprólékos precizitással megtervezett ostyakezelő rendszer páratlan stabilitást és beállítást biztosít, ami döntő fontosságú a nagy hatékonyságú gyártási környezetekben.
A Vertical Column Wafer Boat & Talapzat prémium anyagokból készült, amelyek garantálják a hőstabilitást és a kémiai korrózióval szembeni ellenállást, így alkalmasak a legigényesebb félvezető-gyártási folyamatokra is. Egyedülálló függőleges oszlopkialakítása biztonságosan megtámasztja az ostyákat, csökkentve ezzel a szállítás és a feldolgozás során bekövetkező eltolódások és esetleges sérülések kockázatát.
A vet-china Vertical Column Wafer Boat & Talapzat integrálásával a félvezetőgyártók jobb áteresztőképességre, minimális állásidőre és nagyobb termékhozamra számíthatnak. Ez a rendszer kompatibilis a különböző méretű szeletekkel és konfigurációkkal, rugalmasságot és méretezhetőséget kínálva a különböző gyártási igényekhez.
A vet-china a kiválóság iránti elkötelezettsége biztosítja, hogy minden függőleges oszlopos ostyahajó és talapzat megfeleljen a legmagasabb minőségi és teljesítménykövetelményeknek. Ha ezt az élvonalbeli megoldást választja, Ön a lapkakezelés jövőbiztos megközelítésébe fektet be, amely maximalizálja a félvezetőgyártás hatékonyságát és megbízhatóságát.
Az átkristályosított szilícium-karbid tulajdonságai
Az átkristályosított szilícium-karbid (R-SiC) egy nagy teljesítményű anyag, amelynek keménysége a gyémánt után a második, és 2000 ℃ feletti magas hőmérsékleten keletkezik. Megőrzi a SiC számos kiváló tulajdonságát, mint például a magas hőmérsékleti szilárdság, az erős korrózióállóság, a kiváló oxidációállóság, a jó hősokkállóság és így tovább.
● Kiváló mechanikai tulajdonságok. Az átkristályosított szilícium-karbid nagyobb szilárdsággal és merevséggel rendelkezik, mint a szénszál, nagy ütésállósággal rendelkezik, jó teljesítményt nyújt extrém hőmérsékleti környezetben, jobb ellensúlyozási teljesítményt nyújt különféle helyzetekben. Ezenkívül jó a rugalmassága is, és nem sérül meg könnyen nyújtás és hajlítás hatására, ami nagyban javítja a teljesítményét.
● Magas korrózióállóság. Az átkristályosított szilícium-karbid magas korrózióállósággal rendelkezik a különféle közegekkel szemben, megakadályozhatja a különböző korrozív közegek erózióját, hosszú ideig megőrzi mechanikai tulajdonságait, erős adhéziója, így hosszabb élettartama van. Ezenkívül jó hőstabilitású, alkalmazkodni tud egy bizonyos hőmérséklet-változáshoz, javítja alkalmazási hatását.
● A szinterezés nem zsugorodik. Mivel a szinterezési folyamat nem zsugorodik, a maradék feszültség nem okoz deformációt vagy repedést a termékben, így összetett formájú és nagy pontosságú alkatrészek készíthetők.
| 重结晶碳化硅物理特性 Az újrakristályosított szilícium-karbid fizikai tulajdonságai | |
| 性质 / Ingatlan | 典型数值 / Tipikus érték |
| 使用温度/ Üzemi hőmérséklet (°C) | 1600°C (oxigénnel), 1700°C (redukáló környezet) |
| Sic含量/ SiC tartalom | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Ingyenes Si tartalom | < 0,1% |
| 体积密度/Térfogatsűrűség | 2,60-2,70 g/cm3 |
| 气孔率/ Látszólagos porozitás | < 16% |
| 抗压强度/ Nyomószilárdság | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Hideg hajlítószilárdság | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Meleg hajlítószilárdság | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Hőtágulás @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Hővezetőképesség @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Rugalmassági modulus | 240 GPa |
| 抗热震性/ Hőütésállóság | Rendkívül jó |
A VET Energy az aegyedi grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója CVD bevonattal,tud ellátnikülönféleszemélyre szabott alkatrészek a félvezető- és fotovoltaikus ipar számára. Oműszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből érkezik, professzionálisabb anyagi megoldásokat tud nyújtanineked.
Folyamatosan fejlesztünk fejlett folyamatokat, hogy még fejlettebb anyagokat biztosítsunk,ésexkluzív szabadalmaztatott technológiát dolgoztak ki, amely szorosabbá és kevésbé leválóvá teheti a bevonat és az aljzat közötti kötést.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat | |
| 性质 / Ingatlan | 典型数值 / Tipikus érték |
| 晶体结构 / Kristályszerkezet | FCC β fázis多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Sűrűség | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Keménység | 2500 维氏硬度 (500 g töltet) |
| 晶粒大小 / Grain Size | 2~10μm |
| 纯度 / Kémiai tisztaság | 99,99995% |
| 热容 / Hőkapacitás | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Szublimációs hőmérséklet | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Hajlítóerő | 415 MPa RT 4 pontos |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalVezetőképesség | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Szeretettel üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat, beszéljünk tovább!
