Függőleges oszlopos ostyahajó és talapzat

Rövid leírás:

A vet-kínai vertikális oszlopos ostyahajó és talapzat kiemelkedő stabilitást és pontosságot kínál a félvezetőgyártáshoz használt lapkák kezelésében. A vet-china fejlett kialakításával ez a rendszer optimális beállítást és biztonságos rögzítést biztosít, növeli a működési hatékonyságot és csökkenti az ostyák sérülését.


Termék részletek

Termékcímkék

A vet-china bemutatja az innovatív Vertical Column Wafer Boat & Talapzatot, amely egy átfogó megoldás a fejlett félvezető-feldolgozáshoz. Az aprólékos precizitással megtervezett ostyakezelő rendszer páratlan stabilitást és beállítást biztosít, ami döntő fontosságú a nagy hatékonyságú gyártási környezetekben.

A Vertical Column Wafer Boat & Talapzat prémium anyagokból készült, amelyek garantálják a hőstabilitást és a kémiai korrózióval szembeni ellenállást, így alkalmasak a legigényesebb félvezető-gyártási folyamatokra is. Egyedülálló függőleges oszlopkialakítása biztonságosan megtámasztja az ostyákat, csökkentve a szállítás és a feldolgozás során bekövetkező eltolódások és esetleges sérülések kockázatát.

A vet-china Vertical Column Wafer Boat & Talapzat integrálásával a félvezetőgyártók jobb áteresztőképességre, minimális állásidőre és nagyobb termékhozamra számíthatnak. Ez a rendszer különféle méretű és konfigurációjú szeletekkel kompatibilis, rugalmasságot és méretezhetőséget kínálva a különböző gyártási igényekhez.

A vet-china a kiválóság iránti elkötelezettsége biztosítja, hogy minden függőleges oszlopos ostyahajó és talapzat megfeleljen a legmagasabb minőségi és teljesítménykövetelményeknek. Ha ezt az élvonalbeli megoldást választja, Ön a lapkakezelés jövőbiztos megközelítésébe fektet be, amely maximalizálja a félvezetőgyártás hatékonyságát és megbízhatóságát.

Függőleges oszlopos ostyahajó és talapzat

Az átkristályosított szilícium-karbid tulajdonságai

Az átkristályosított szilícium-karbid (R-SiC) egy nagy teljesítményű anyag, amelynek keménysége a gyémánt után a második, és 2000 ℃ feletti magas hőmérsékleten keletkezik. Megőrzi a SiC számos kiváló tulajdonságát, mint például a magas hőmérsékleti szilárdság, az erős korrózióállóság, a kiváló oxidációállóság, a jó hősokkállóság és így tovább.

● Kiváló mechanikai tulajdonságok. Az átkristályosított szilícium-karbid nagyobb szilárdsággal és merevséggel rendelkezik, mint a szénszál, nagy ütésállósággal rendelkezik, jó teljesítményt nyújt extrém hőmérsékleti környezetben, jobb ellensúlyozási teljesítményt nyújt különféle helyzetekben. Ezenkívül jó a rugalmassága is, és nem sérül meg könnyen nyújtás és hajlítás hatására, ami nagyban javítja a teljesítményét.

● Magas korrózióállóság. Az átkristályosított szilícium-karbid magas korrózióállósággal rendelkezik a különféle közegekkel szemben, megakadályozhatja a különböző korrozív közegek erózióját, hosszú ideig megőrzi mechanikai tulajdonságait, erős adhéziója, így hosszabb élettartama van. Ezenkívül jó hőstabilitású, alkalmazkodni tud egy bizonyos hőmérséklet-változáshoz, javítja alkalmazási hatását.

● A szinterezés nem zsugorodik. Mivel a szinterezési folyamat nem zsugorodik, a maradék feszültség nem okoz deformációt vagy repedést a termékben, így összetett formájú és nagy pontosságú alkatrészek készíthetők.

重结晶碳化硅物理特性

Az újrakristályosított szilícium-karbid fizikai tulajdonságai

性质 / Ingatlan

典型数值 / Tipikus érték

使用温度/ Üzemi hőmérséklet (°C)

1600°C (oxigénnel), 1700°C (redukáló környezet)

Sic含量/ SiC tartalom

> 99,96%

自由Si含量/ Ingyenes Si tartalom

< 0,1%

体积密度/Térfogatsűrűség

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Látszólagos porozitás

< 16%

抗压强度/ Nyomószilárdság

> 600MPa

常温抗弯强度/Hideg hajlítószilárdság

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Meleg hajlítószilárdság

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Hőtágulás @1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Hővezetőképesség @1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Rugalmassági modulus

240 GPa

抗热震性/ Hőütésállóság

Rendkívül jó

A VET Energy az aegyedi grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója CVD bevonattal,tud ellátnikülönféleszemélyre szabott alkatrészek a félvezető- és fotovoltaikus ipar számára. Oműszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből érkezik, professzionálisabb anyagi megoldásokat tud nyújtanineked.

Folyamatosan fejlesztünk fejlett folyamatokat, hogy még fejlettebb anyagokat biztosítsunk,ésexkluzív szabadalmaztatott technológiát dolgoztak ki, amely szorosabbá és kevésbé leválóvá teheti a bevonat és az aljzat közötti kötést.

CVD SiC薄膜基本物理性能

A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat

性质 / Ingatlan

典型数值 / Tipikus érték

晶体结构 / Kristályszerkezet

FCC β fázis多晶,主要为(111)取向

密度 / Sűrűség

3,21 g/cm³

硬度 / Keménység

2500 维氏硬度 (500 g-os töltet)

晶粒大小 / Grain Size

2-10 μm

纯度 / Kémiai tisztaság

99,99995%

热容 / Hőteljesítmény

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Szublimációs hőmérséklet

2700 ℃

抗弯强度 / Hajlítóerő

415 MPa RT 4 pontos

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃

导热系数 / ThermalVezetőképesség

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Szeretettel üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat, beszéljünk tovább!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Előző:
  • Következő:

  • WhatsApp online csevegés!