szilícium-karbid kerámia bevonatú fűtőtest

Állatorvos-KínaSzilícium-karbid kerámiaA Coating egy nagy teljesítményű védőbevonat, amely rendkívül kemény és kopásálló anyagból készülszilícium-karbid (SiC)anyag, amely kiváló kémiai korrózióállóságot és magas hőmérsékleti stabilitást biztosít. Ezek a jellemzők döntőek a félvezetőgyártásban, ígySzilícium-karbid kerámia bevonatszéles körben használják a félvezető gyártó berendezések kulcsfontosságú alkatrészeiben.

Vet-Kína sajátos szerepeSzilícium-karbid kerámiaA félvezetőgyártás során a bevonat a következő:

A berendezés tartósságának növelése:Szilícium-karbid kerámia bevonat A szilícium-karbid kerámia bevonat rendkívül nagy keménységével és kopásállóságával kiváló felületvédelmet nyújt a félvezető gyártó berendezések számára. Különösen magas hőmérsékletű és erősen korrozív folyamatkörnyezetekben, mint például kémiai gőzleválasztás (CVD) és plazmamaratás, a bevonat hatékonyan képes megakadályozni a berendezés felületének kémiai erózió vagy fizikai kopás általi károsodását, ezáltal jelentősen meghosszabbítja a berendezés élettartamát. a berendezéseket, és csökkenti a gyakori csere és javítás okozta állásidőt.

A folyamat tisztaságának javítása:A félvezető gyártási folyamatban az apró szennyeződések termékhibákat okozhatnak. A szilícium-karbid kerámia bevonat kémiai inertsége lehetővé teszi, hogy szélsőséges körülmények között is stabil maradjon, megakadályozva, hogy az anyag részecskék vagy szennyeződések szabaduljanak fel, ezáltal biztosítva a folyamat környezeti tisztaságát. Ez különösen fontos a nagy pontosságot és nagy tisztaságot igénylő gyártási lépéseknél, mint például a PECVD és az ionimplantáció.

A hőkezelés optimalizálása:A magas hőmérsékletű félvezető feldolgozásnál, mint például a gyors hőfeldolgozás (RTP) és az oxidációs eljárások, a szilícium-karbid kerámia bevonat magas hővezető képessége egyenletes hőmérsékleteloszlást tesz lehetővé a berendezésen belül. Ez segít csökkenteni a hőmérséklet-ingadozások által okozott hőfeszültséget és anyagdeformációt, ezáltal javítja a termék gyártási pontosságát és konzisztenciáját.

Komplex folyamatkörnyezetek támogatása:A komplex légkör-szabályozást igénylő folyamatokban, mint például az ICP maratási és PSS maratási eljárások, a szilícium-karbid kerámia bevonat stabilitása és oxidációállósága biztosítja, hogy a berendezés stabil teljesítményt tartson fenn hosszú távú működés közben, csökkentve az anyagromlás vagy a berendezés károsodásának kockázatát. a környezeti változásokra.