SiC bevonatú grafit félhold részis a kulcsfontosságúfélvezető gyártási folyamatokban használt alkatrész, különösen SiC epitaxiális berendezésekhez.Szabadalmaztatott technológiánkat használjuk a félhold rész elkészítéséhezrendkívül magas tisztaságú,jóbevonategységességeés kiváló élettartam, valamintmagas kémiai ellenállás és hőstabilitási tulajdonságok.
A VET Energy az aegyedi grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója CVD bevonattal,tud ellátnikülönféleszemélyre szabott alkatrészek a félvezető- és fotovoltaikus ipar számára. Oműszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből érkezik, professzionálisabb anyagi megoldásokat tud nyújtanineked.
Folyamatosan fejlesztünk fejlett folyamatokat, hogy még fejlettebb anyagokat biztosítsunk,ésexkluzív szabadalmaztatott technológiát dolgoztak ki, amely szorosabbá és kevésbé leválóvá teheti a bevonat és az aljzat közötti kötést.
Ftermékeink jellemzői:
1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás 1700-ig℃.
2. Nagy tisztaságú éstermikus egyenletesség
3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
5. Hosszabb élettartam és tartósabb
| CVD SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat | |
| 性质 / Ingatlan | 典型数值 / Tipikus érték |
| 晶体结构 / Kristályszerkezet | FCC β fázis多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Sűrűség | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Keménység | 2500 维氏硬度 (500 g-os töltet) |
| 晶粒大小 / Grain Size | 2-10 μm |
| 纯度 / Kémiai tisztaság | 99,99995% |
| 热容 / Hőteljesítmény | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Szublimációs hőmérséklet | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Hajlítóerő | 415 MPa RT 4 pontos |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalVezetőképesség | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Szeretettel üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat, beszéljünk tovább!
