ACVD TaC bevonattalA vet-china Plate Susceptor-t nagy teljesítményű kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárásokra tervezték. Ez a szuszceptor robusztusTaC (tantál-karbid) bevonat, amely kivételes hőstabilitást, vegyszerállóságot és tartósságot kínál, így ideális megoldás a félvezetőgyártáshoz és a magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz. ACVD TaC bevonatkiváló ellenállást biztosít az oxidációval és kopással szemben, lehetővé téve a szuszceptor integritásának és működésének megőrzését zord környezetben.
állat-kínaiCVD TaC bevonattalA Plate Susceptor kitűnik azzal a képességével, hogy egyenletesen osztja el a hőt a CVD-folyamatok során, biztosítva a precíz réteglerakódást és növelve a félvezetőgyártás hatékonyságát. A Ta-C bevonat további védelmet nyújt a kémiai korrózió ellen, meghosszabbítja a szuszceptor élettartamát és javítja az általános teljesítményt. A fejlett CVD szuszceptor technológia és a kiváló minőségű TaC kémiai bevonatok kombinációjával ez a szuszceptor kulcsfontosságú eleme az olyan iparágaknak, amelyek precizitást és megbízhatóságot igényelnek magas hőmérsékletű környezetben.
Függetlenül attól, hogy félvezetők gyártásához vagy más csúcstechnológiás alkalmazásokhoz használják, aCVD TaC bevonatú lemezszuszceptorúgy tervezték, hogy megfeleljen a modern gyártás követelményeinek. A Semicera innovációs és minőségi hírnevének köszönhetően ez a termék kiváló teljesítményt és hosszan tartó tartósságot kínál, így megbízható választás a CVD-folyamatokhoz.
A TaC bevonat egyfajta tantál-karbid (TaC) bevonat, amelyet fizikai gőzleválasztási technológiával állítanak elő, és a következő jellemzőkkel rendelkezik:
1. Nagy keménység: A TaC bevonat keménysége magas, általában elérheti a 2500-3000 HV-t, kiváló kemény bevonat.
2. Kopásállóság: A TaC bevonat nagyon kopásálló, amely hatékonyan csökkenti a mechanikai alkatrészek kopását és sérülését a használat során.
3. Jó magas hőmérsékleti ellenállás: A TaC bevonat magas hőmérsékletű környezetben is megőrzi kiváló teljesítményét.
4. Jó kémiai stabilitás: A TaC bevonat jó kémiai stabilitással rendelkezik, és számos kémiai reakciónak, például savaknak és bázisoknak ellenáll.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Fizikai tulajdonságai TaC bevonat | |
| 密度/ Sűrűség | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Fajlagos emissziós tényező | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Hőtágulási együttható | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Keménység (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Ellenállás | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Hőstabilitás | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 / Grafit mérete változik | -10-20um |
| 涂层厚度 / Bevonat vastagsága | ≥20um tipikus érték (35um±10um) |
A Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. egy csúcstechnológiás vállalkozás, amely csúcsminőségű fejlett anyagok gyártására és értékesítésére összpontosít, a grafitot, szilícium-karbidot, kerámiát, felületkezelést és így tovább lefedő anyagokra és technológiára. A termékeket széles körben használják a fotovoltaikus, félvezető, új energia, kohászat stb.
Technikai csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből érkezik, professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.
Szeretettel üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat, beszéljünk tovább!
