A SiC bevonatú grafithordozó kulcsfontosságú alkatrész, amelyet különféle félvezető-gyártási folyamatokban használnak. Szabadalmaztatott technológiánkkal készítjük a szilícium-karbid hordozót rendkívül nagy tisztasággal, jó bevonategyenletességgel és kiváló élettartammal, valamint magas vegyszerállóságú és hőstabilitási tulajdonságokkal.
Termékeink jellemzői:
1. Magas hőmérsékletű oxidációállóság 1700 ℃-ig.
2. Nagy tisztaságú és termikus egyenletesség
3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
5. Hosszabb élettartam és tartósabb
CVD SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat | |
性质 / Ingatlan | 典型数值 / Tipikus érték |
晶体结构 / Kristályszerkezet | FCC β fázis多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Sűrűség | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Keménység | 2500 维氏硬度 (500 g töltet) |
晶粒大小 / Grain Size | 2~10μm |
纯度 / Kémiai tisztaság | 99,99995% |
热容 / Hőkapacitás | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Szublimációs hőmérséklet | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Hajlítóerő | 415 MPa RT 4 pontos |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalVezetőképesség | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
A VET Energy a személyre szabott grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója különböző bevonatokkal, például SiC bevonattal, TaC bevonattal, üveges szénbevonattal, pirolitikus szénbevonattal stb., Különféle testreszabott alkatrészeket szállíthat a félvezető- és fotovoltaikus ipar számára.
Technikai csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből érkezik, professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.
Folyamatosan fejlesztünk fejlett eljárásokat, hogy még fejlettebb anyagokat biztosítsunk, és kidolgoztunk egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé leválóvá teheti a bevonat és az aljzat közötti kötést.
Szeretettel üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat, beszéljünk tovább!