A fotolitográfiás gépek precíziós alkatrészeinek előnyben részesített anyaga A félvezető területen a szilícium-karbid kerámia anyagokat főként az integrált áramkör-gyártás kulcsfontosságú berendezéseiben használják, mint például a szilícium-karbid munkaasztal, vezetősínek, reflektorok, kerámia szívótok, karok,...
Olvass tovább