Szilícium-karbidszilíciumot és szenet tartalmazó kemény vegyület, amely rendkívül ritka moissanit ásványként fordul elő a természetben. A szilícium-karbid részecskék szinterezéssel nagyon kemény kerámiákká köthetők össze, amelyeket széles körben alkalmaznak a nagy tartósságot igénylő alkalmazásokban, különösen a félvezető feldolgozásnál.
A SiC fizikai szerkezete
Mi az a SiC bevonat?
A SiC bevonat egy sűrű, kopásálló szilícium-karbid bevonat, magas korrózió- és hőállósággal, valamint kiváló hővezető képességgel. Ezt a nagy tisztaságú SiC bevonatot elsősorban a félvezető- és elektronikai iparban használják az ostyahordozók, alapok és fűtőelemek korrozív és reakcióképes környezetek elleni védelmére. A SiC bevonat vákuumkemencékhez és mintamelegítéshez is alkalmas nagyvákuumú, reaktív és oxigénes környezetben.
Nagy tisztaságú SiC bevonat felület
Mi a SiC bevonat folyamata?
Az aljzat felületére vékony réteg szilícium-karbidot viszünk felCVD (kémiai gőzleválasztás). A leválasztást általában 1200-1300°C hőmérsékleten végzik, és az aljzat anyagának hőtágulási viselkedésének kompatibilisnek kell lennie a SiC bevonattal a hőfeszültség minimalizálása érdekében.
CVD SIC bevonat FILMKRISTÁLYSZERKEZET
A SiC bevonat fizikai tulajdonságai főként magas hőmérséklet-állóságában, keménységében, korrózióállóságában és hővezető képességében tükröződnek.
A tipikus fizikai paraméterek általában a következők:
Keménység: A SiC bevonat Vickers-keménysége jellemzően 2000-2500 HV tartományba esik, ami rendkívül magas kopás- és ütésállóságot biztosít az ipari alkalmazásokban.
Sűrűség: A SiC bevonatok sűrűsége jellemzően 3,1-3,2 g/cm³. A nagy sűrűség hozzájárul a bevonat mechanikai szilárdságához és tartósságához.
Hővezetőképesség: A SiC bevonatok magas hővezető képességgel rendelkeznek, jellemzően 120-200 W/mK (20°C-on). Ez jó hővezető képességet biztosít magas hőmérsékletű környezetben, és különösen alkalmassá teszi a félvezetőipar hőkezelő berendezéseihez.
Olvadáspont: A szilícium-karbid olvadáspontja megközelítőleg 2730°C, és kiváló termikus stabilitása szélsőséges hőmérsékleten.
Hőtágulási együttható: A SiC bevonatok alacsony lineáris hőtágulási együtthatóval (CTE) rendelkeznek, jellemzően 4,0-4,5 µm/mK (25-1000 ℃ között). Ez azt jelenti, hogy méretstabilitása kiváló nagy hőmérséklet-különbségek mellett.
Korrózióállóság: A SiC bevonatok rendkívül ellenállóak a korrózióval szemben erős savas, lúgos és oxidáló környezetben, különösen erős savak (például HF vagy HCl) használatakor, korrózióállóságuk messze meghaladja a hagyományos fémanyagokét.
A SiC bevonatok a következő anyagokra alkalmazhatók:
Nagy tisztaságú izosztatikus grafit (alacsony CTE)
Volfrám
Molibdén
Szilícium-karbid
Szilícium-nitrid
Szén-szén kompozitok (CFC)
A SiC bevonatú termékeket általában a következő területeken használják:
LED chip gyártás
Poliszilícium gyártás
Félvezetőkristálynövekedés
Szilícium ésSiC epitaxia
Ostya hőkezelés és maratás
Miért válassza a VET Energy-t?
A VET Energy a SiC bevonat termékek vezető gyártója, megújítója és vezetője Kínában, a fő SiC bevonat termékek közé tartozikostyahordozó SiC bevonattal, SiC bevonattalepitaxiális szuszceptor, SiC bevonatú grafitgyűrű, Félhold részek SiC bevonattal, SiC bevonatú szén-szén kompozit, SiC bevonatú ostyahajó, SiC bevonatú fűtőteststb. A VET Energy elkötelezett amellett, hogy a félvezetőipart a legjobb technológiát és termékmegoldásokat kínálja, és támogatja a testreszabási szolgáltatásokat. Őszintén várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Ha kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.
Whatsapp&Wechat: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Feladás időpontja: 2024.10.18