A fotolitográfiai gépek precíziós alkatrészeinek előnyben részesített anyaga
A félvezető térenszilícium-karbid kerámiaAz anyagokat elsősorban az integrált áramkörök gyártása során használt kulcsfontosságú berendezésekben használják, mint például a szilícium-karbid munkaasztal, vezetősínek,reflektorok, kerámia szívótokmány, karok, csiszolókorongok, szerelvények stb. litográfiai gépekhez.
Szilícium-karbid kerámia alkatrészekfélvezető és optikai berendezésekhez
● Szilícium-karbid kerámia csiszolótárcsa. Ha a csiszolókorong öntöttvasból vagy szénacélból készül, élettartama rövid, hőtágulási együtthatója pedig nagy. A szilícium lapkák feldolgozása során, különösen a nagy sebességű csiszolás vagy polírozás során, a csiszolókorong kopása és termikus deformációja megnehezíti a szilícium lapka síkságának és párhuzamosságának biztosítását. A szilícium-karbid kerámiából készült csiszolókorong nagy keménységű és alacsony kopású, hőtágulási együtthatója pedig alapvetően megegyezik a szilícium lapkákéval, így nagy sebességgel csiszolható, polírozható.
● Szilícium-karbid kerámia szerelvény. Ezen túlmenően, amikor szilícium lapkákat állítanak elő, azokat magas hőmérsékletű hőkezelésnek kell alávetni, és gyakran szilícium-karbid szerelvényekkel szállítják őket. Hőállóak és roncsolásmentesek. Gyémántszerű szén (DLC) és egyéb bevonatok alkalmazhatók a felületre a teljesítmény fokozása, az ostyák sérülésének enyhítése és a szennyeződés terjedésének megakadályozása érdekében.
● Szilícium-karbid munkaasztal. Ha például a litográfiai gépben található munkaasztalt vesszük, a munkaasztal főként az expozíciós mozgás elvégzéséért felel, ami nagy sebességű, nagylöketű, hat szabadságfokú nanoszintű ultraprecíziós mozgást igényel. Például egy 100 nm-es felbontású, 33 nm-es átfedési pontossággal és 10 nm-es vonalszélességgel rendelkező litográfiai gépeknél a munkaasztal pozicionálási pontossága 10 nm eléréséhez szükséges, a maszk-szilícium lapka egyidejű léptetési és pásztázási sebessége 150 nm/s. és 120 nm/s, a maszkszkennelési sebesség pedig közel van 500 nm/s, és a munkaasztalnak nagyon nagy mozgási pontossággal és stabilitással kell rendelkeznie.
A munkaasztal és a mikromozgató asztal sematikus diagramja (részszelvény)
● Szilícium-karbid kerámia négyzet alakú tükör. A kulcsfontosságú integrált áramköri berendezések, például a litográfiai gépek kulcsfontosságú alkatrészei összetett formájúak, összetett méretekkel és üreges, könnyű szerkezettel rendelkeznek, ami megnehezíti az ilyen szilícium-karbid kerámia alkatrészek előállítását. Jelenleg a főbb nemzetközi integrált áramköri berendezések gyártói, mint például az ASML Hollandiában, a NIKON és a CANON Japánban, nagy mennyiségű anyagot, például mikrokristályos üveget és kordierit használnak négyzet alakú tükrök, litográfiai gépek alapvető alkotóelemeinek elkészítéséhez, és szilícium-karbidot használnak. kerámiák más nagy teljesítményű, egyszerű formájú szerkezeti elemek elkészítéséhez. A Kínai Építőanyag-kutató Intézet szakértői azonban szabadalmaztatott előkészítési technológiát alkalmaztak a nagy méretű, összetett alakú, rendkívül könnyű, teljesen zárt szilícium-karbid kerámia négyzettükrök és más szerkezeti és funkcionális optikai alkatrészek elkészítéséhez litográfiai gépekhez.
Feladás időpontja: 2024.10.10