Hordó szuszceptor folyékony fázisú epitaxiás LPE-hez
EPI (epitaxia)kritikus folyamat a fejlett félvezetők gyártásában. Ez magában foglalja vékony anyagrétegek lerakódását egy szubsztrátumra, hogy összetett eszközstruktúrákat hozzanak létre. Az EPI-hez készült SiC bevonatú grafithordó szuszceptorokat kiváló hővezető képességük és magas hőmérsékletekkel szembeni ellenállásuk miatt gyakran használják szuszceptorként az EPI reaktorokban. VelCVD-SiC bevonat, ellenállóbbá válik a szennyeződésekkel, erózióval és hősokkokkal szemben. Ez a szuszceptor hosszabb élettartamát és jobb filmminőséget eredményez.
Hordós szuszceptorunk előnyei folyadékfázisú epitaxiás LPE-hez:
Csökkentett szennyeződés:A SiC inert természete megakadályozza, hogy szennyeződések tapadjanak a szuszceptor felületére, csökkentve a lerakódott filmek szennyeződésének kockázatát.
Fokozott erózióállóság:A SiC lényegesen jobban ellenáll az eróziónak, mint a hagyományos grafit, ami hosszabb élettartamot biztosít a szuszceptor számára.
Megnövelt hőstabilitás:A SiC kiváló hővezető képességgel rendelkezik, és jelentős torzulás nélkül ellenáll a magas hőmérsékletnek.
Továbbfejlesztett filmminőség:A jobb hőstabilitás és a csökkentett szennyeződés jobb minőségű lerakott filmeket eredményez, jobb egyenletességgel és vastagságszabályozással.
A Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. egy csúcstechnológiás vállalkozás, amely csúcskategóriás, fejlett anyagok, anyagok és technológiák, köztük grafit, szilícium-karbid, kerámia, felületkezelés, például SiC bevonat, TaC bevonat, üveges szén gyártására és értékesítésére összpontosít. bevonat, pirolitikus szénbevonat stb., ezeket a termékeket széles körben használják a fotovoltaikus, félvezető, új energia, kohászat stb.
Technikai csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből származik, és több szabadalmaztatott technológiát fejlesztett ki a termék teljesítményének és minőségének biztosítása érdekében, valamint professzionális anyagmegoldásokat is kínál ügyfeleinek.
Szeretettel várjuk laboratóriumunkban és üzemünkben műszaki megbeszélésekre és együttműködésekre!
