Epitaxiális Epi grafit hordó szuszceptor
Epitaxiális Epi grafit hordó szuszceptoregy speciálisan kialakított tartó- és fűtőeszköz, amelyet félvezető szubsztrátumok tartására és melegítésére használnak olyan gyártási folyamatok során, mint a leválasztási vagy epitaxiás folyamatok.
Szerkezete jellemzően hengeres vagy enyhén hordó alakú, felülete több zsebbel vagy platformmal rendelkezik az ostyák elhelyezésére, lehet tömör vagy üreges kialakítású, a fűtési módtól függően.
Az epitaxiális hordó szuszceptor fő funkciói:
-Subsztrát támogatás: biztonságosan tartja több félvezető lapkát;
-Hőforrás: fűtéssel biztosítja a növekedéshez szükséges magas hőmérsékletet;
-Hőmérséklet egyenletessége: biztosítja az aljzatok egyenletes melegítését;
-Forgatás: általában a növekedés során forog a hőmérséklet és a gázeloszlás egyenletességének javítása érdekében.
Az Epi grafithordó szuszceptor működési elve:
- Az epitaxiális reaktorban a hordó szuszceptort a kívánt hőmérsékletre melegítik (tipikusan 1000 ℃-1200 ℃ szilícium epitaxiához);
-A hordó szuszceptor forog, hogy egyenletes hőmérséklet-eloszlást és gázáramlást biztosítson;
-A reakciógázok magas hőmérsékleten lebomlanak, epitaxiális rétegeket képezve a hordozó felületén.
Alkalmazások:
- Elsősorban szilícium epitaxiális növekedéshez használják
- Más félvezető anyagok, például GaAs, InP stb. epitaxiájára is alkalmazható.
A VET Energy nagy tisztaságú grafitot használ CVD-SiC bevonattal a kémiai stabilitás fokozására:
A VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor előnyei:
- Magas hőmérsékleti stabilitás;
- Jó termikus egyenletesség;
-Több szubsztrát egyidejű feldolgozására képes, javítva a termelés hatékonyságát;
-Kémiailag inert, nagy tisztaságú növekedési környezetet biztosít.
A Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. egy csúcstechnológiás vállalkozás, amely csúcskategóriás, fejlett anyagok, anyagok és technológiák, köztük grafit, szilícium-karbid, kerámia, felületkezelés, például SiC bevonat, TaC bevonat, üveges szén gyártására és értékesítésére összpontosít. bevonat, pirolitikus szénbevonat stb., ezeket a termékeket széles körben használják a fotovoltaikus, félvezető, új energia, kohászat stb.
Technikai csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből származik, és több szabadalmaztatott technológiát fejlesztett ki a termék teljesítményének és minőségének biztosítása érdekében, valamint professzionális anyagmegoldásokat is kínál ügyfeleinek.
Szeretettel várjuk laboratóriumunkban és üzemünkben műszaki megbeszélésekre és együttműködésekre!
