GaN de 4 polgadas en oblea de SiC

Breve descrición:

A oblea GaN sobre SiC de 4 polgadas de VET Energy é un produto revolucionario no campo da electrónica de potencia. Esta oblea combina a excelente condutividade térmica do carburo de silicio (SiC) coa alta densidade de potencia e a baixa perda de nitruro de galio (GaN), polo que é unha opción ideal para fabricar dispositivos de alta frecuencia e potencia. VET Energy garante o excelente rendemento e consistencia da oblea mediante a avanzada tecnoloxía epitaxial MOCVD.


Detalle do produto

Etiquetas de produtos

A liña de produtos de VET Energy non se limita a GaN en obleas de SiC. Tamén ofrecemos unha ampla gama de materiais de substrato semicondutores, incluíndo Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, etc. Wafer, para satisfacer a demanda futura da industria electrónica de potencia de dispositivos de maior rendemento.

VET Energy ofrece servizos de personalización flexibles e pode personalizar capas epitaxiais GaN de diferentes grosores, diferentes tipos de dopaxe e diferentes tamaños de obleas segundo as necesidades específicas dos clientes. Ademais, tamén ofrecemos soporte técnico profesional e servizo posvenda para axudar aos clientes a desenvolver rapidamente dispositivos electrónicos de potencia de alto rendemento.

第6页-36
第6页-35

ESPECIFICACIÓNS DA OBLEA

*n-Pm=n-tipo Pm-Grado, n-Ps=n-tipo Ps-Grado, Sl=Semi-isolante

Elemento

8 polgadas

6 polgadas

4 polgadas

nP

n-p.m

n-Ps

SI

SI

TTV (GBIR)

≤ 6um

≤ 6um

Bow (GF3YFCD) - Valor absoluto

≤ 15 μm

≤ 15 μm

≤ 25 μm

≤ 15 μm

Deformación (GF3YFER)

≤ 25 μm

≤ 25 μm

≤ 40 μm

≤ 25 μm

LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm

<2 μm

Borde de oblea

Biselado

ACABADO SUPERFICIAL

*n-Pm=n-tipo Pm-Grado, n-Ps=n-tipo Ps-Grado, Sl=Semi-isolante

Elemento

8 polgadas

6 polgadas

4 polgadas

nP

n-p.m

n-Ps

SI

SI

Acabado superficial

Esmalte óptico de doble cara, Si-face CMP

Rugosidade superficial

(10um x 10um) Si-FaceRa ≤0,2 nm
C-Face Ra ≤ 0,5 nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm
C-Face Ra≤0,5 nm

Chips de borde

Ningún permitido (longo e ancho ≥0,5 mm)

sangrías

Ningún permitido

Arañazos (Si-face)

Cant.≤5,Acumulativo
Lonxitude ≤0,5 × diámetro da oblea

Cant.≤5,Acumulativo
Lonxitude ≤0,5 × diámetro da oblea

Cant.≤5,Acumulativo
Lonxitude ≤0,5 × diámetro da oblea

Gretas

Ningún permitido

Exclusión de borde

3 mm

tech_1_2_tamaño
下载 (2)

  • Anterior:
  • Seguinte:

  • Chat en liña de WhatsApp!