Ammatillinen koulutusPiikarbidipäällysteinen grafiittialusta, Plate ja Cover on suunniteltu tarjoamaan huippuluokan suorituskykyä, mikä takaa luotettavan ja tasaisen toiminnan pitkäaikaisessa käytössä, joten se on olennainen valinta kiekkojen käsittelysovelluksissa puolijohdeteollisuudessa. Tämä korkean suorituskyvynPiikarbidipäällysteinen grafiittilevytarjoaa poikkeuksellisen lämmönkestävyyden, erinomaisen lämmön tasaisuuden ja erinomaisen kemiallisen stabiilisuuden, erityisesti korkeissa lämpötiloissa. Sen erittäin puhdas rakenne yhdistettynä edistyneeseen eroosionkestävyyteen tekee siitä välttämättömän vaativissa ympäristöissä, kutenMOCVD-suskeptorit.
Piikarbidipinnoitteen grafiittialustan, levyn ja kannen tärkeimmät ominaisuudet
1. Korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys:Kestää jopa 1700 ℃ lämpötiloja, joten se toimii luotettavasti äärimmäisissä olosuhteissa.
2. Korkea puhtaus ja lämpötasaisuus:Tasainen korkea puhtaus ja tasainen lämmön jakautuminen ovat ratkaisevan tärkeitä MOCVD-sovelluksissa.
3. Poikkeuksellinen korroosionkestävyys:Kestää happoja, emäksiä, suoloja ja erilaisia orgaanisia reagensseja, mikä takaa pitkän aikavälin stabiilisuuden erilaisissa ympäristöissä.
4. Korkea kovuus ja kompakti pinta:Tiheä pinta, jossa on hienojakoisia hiukkasia, mikä parantaa yleistä kestävyyttä ja kulutuskestävyyttä.
5. Pidentynyt käyttöikä:Suunniteltu pitkäikäiseksi, suorituskykyä paremmin kuin perinteinenpiikarbidilla päällystetyt grafiittisuskeptoritankarissa puolijohdekäsittelyympäristöissä.
CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC:n fysikaaliset perusominaisuudetpinnoite | |
性质 / Omaisuus | 典型数值 / Tyypillinen arvo |
晶体结构 / Crystal Structure | FCC p-vaihe多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Tiheys | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Kovuus | 2500 维氏硬度 (500 g kuorma) |
晶粒大小 / viljan koko | 2-10 μm |
纯度 / Kemiallinen puhtaus | 99,99995 % |
热容 / Lämpökapasiteetti | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimaatiolämpötila | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Taivutusvoima | 415 MPa RT 4-piste |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalJohtavuus | 300 W · m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Lämpölaajeneminen (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VET Energyn asiantuntemus räätälöityistä grafiitti- ja piikarbidiratkaisuista
Luotettuna valmistajana VET Energy on erikoistunut räätälöityihin grafiittisuskeptoreihin ja piikarbidipinnoitusratkaisuihin. Tarjoamme valikoiman puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle räätälöityjä tuotteita, mukaan lukienSiC-pinnoitetut grafiittikomponentitkuten lokerot, lautaset ja kannet. Tuotevalikoimaamme kuuluu myös erilaisia pinnoitusvaihtoehtoja, mmSiC-pinnoite MOCVD:lle, TaC pinnoite, lasimainen hiilipinnoite, ja pyrolyyttinen hiilipinnoite, mikä varmistaa, että vastaamme korkean teknologian teollisuuden vaihteleviin vaatimuksiin.
Kokenut, kotimaisten huippututkimuslaitosten asiantuntijoista koostuva tekninen tiimimme tarjoaa asiakkailleen kokonaisvaltaisia materiaaliratkaisuja. Kehitämme jatkuvasti edistyneitä prosessejamme, mukaan lukien eksklusiivinen patentoitu tekniikka, joka parantaa piikarbidipinnoitteen ja grafiittialustan välistä sidosta, mikä vähentää irtoamisriskiä ja pidentää tuotteen käyttöikää entisestään.
Sovellukset ja edut puolijohteiden valmistuksessa
ThePiikarbidipinnoite MOCVD:lletekee näistä grafiittisuskeptoreista erittäin tehokkaita korkeissa lämpötiloissa, syövyttävissä ympäristöissä. Nämä piikarbidilla päällystetyt suskeptorit osoittavat erinomaista kestävyyttä ja suorituskykyä riippumatta siitä, käytetäänkö niitä grafiittikiekkojen alustana tai muina MOCVD-komponentteina. Niille, jotka etsivät luotettavia ratkaisujaSiC-pinnoitettu grafiittisuskeptoriVET Energyn piikarbidilla päällystetty grafiittikaukalo, -levy ja kansi tarjoavat vankan ja monipuolisen vaihtoehdon, joka täyttää puolijohdeteollisuuden tiukat vaatimukset.
Keskittymällä edistyneeseen materiaalitieteeseen VET Energy on sitoutunut toimittamaan korkean suorituskyvyn piikarbidilla päällystettyjä grafiittiratkaisuja, jotka edistävät innovaatioita puolijohdekäsittelyssä ja varmistavat luotettavan suorituskyvyn kaikissa MOCVD-sovelluksissa.
VET Energy on räätälöityjen grafiitti- ja piikarbidituotteiden todellinen valmistaja erilaisilla pinnoitteilla, kuten SiC-pinnoite, TaC-pinnoite, lasimainen hiilipinnoite, pyrolyyttinen hiilipinnoite jne., Voi toimittaa erilaisia räätälöityjä osia puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle.
Tekninen tiimimme tulee parhaista kotimaisista tutkimuslaitoksista, voi tarjota sinulle ammattimaisempia materiaaliratkaisuja.
Kehitämme jatkuvasti edistyneitä prosesseja tarjotaksemme entistä kehittyneempiä materiaaleja, ja olemme kehittäneet ainutlaatuisen patentoidun teknologian, joka voi tehdä pinnoitteen ja alustan välisestä sidoksesta tiukemman ja vähemmän altis irtoamiselle.
Lämpimästi tervetuloa vierailemaan tehtaallamme, keskustellaan lisää!